磁控溅射crnx薄膜的制备与性能分析

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1、巾南人学硕I：学化论文}1泉目录摘要⋯⋯⋯ABSTRACT．．11研究的背景⋯⋯⋯11川具涂层技术概述⋯⋯1I2主要制备工艺及特点⋯12磁控溅射技术⋯⋯I2l磁控溅射技术的发展⋯12．2磁挖溅刺技术的原P12及特点l2．21磁控溅射的原口l’l22反应磁控溅射及J：I；特点l3CrNx薄膜的_[iJf究进胜及性能简介14研究的I-I的及意义⋯⋯15研究的内容⋯16技术路线发章节安排⋯一篇_二章薄膜样品制备及表征⋯⋯⋯⋯21样品制备⋯⋯2．1．1制备设备及j￡特点一2I2CrNx簿膜的制备⋯⋯⋯⋯2．121沉积材料

2、的选择⋯212．2镀膜11i『基休预处耻⋯212．3成膜过程简析⋯2．2镀膜层傩能的表征方法⋯第三章CrNx镀膜层表面形貌年¨微观组纵的分析与研究31E艺参数对CrNx镀膜层XRD的影响⋯3ll溅射功率与XRD31．2工作气_ri=：’iXRD3I3溅射时州与XRD⋯⋯．．3I40沸{温度1jXRD315At／N2流量比与XRD⋯3．2工艺参数对CrNx镀膜层表面形貌的影响3．21溅射功率与表而彤貌⋯．322工作气雎与表ifllJ嘭貌3．23溅射时叫b表面形貌⋯⋯⋯⋯II⋯⋯1．．1．4．6⋯8．8⋯⋯8．．9⋯

3、⋯10⋯10⋯．If13⋯141516⋯16—17⋯17中南人学硕f：学位论文H采3．24沉积温度与表面形貌⋯⋯⋯⋯3．25Ar／N2流量比与表而形貌⋯⋯⋯．3．3：[艺参数与CrNx镀膜层能谱分析3．31溅射功率与能谱分析⋯⋯⋯．．3．32工作气压与能潜分析⋯⋯⋯3．33溅射时削与能谱分析⋯⋯⋯⋯⋯34沉积温度与能潜分析⋯⋯⋯3．3．5Ar／N2流量比与能谱分析⋯⋯3．4工芝参数与CrNx外观厚度及显微硬度3．4．I溅射功率}i外观显微硬度⋯⋯3．42丁作气压与外观厚度⋯⋯3．43溅射时M与外观厚度⋯⋯⋯⋯3．

4、4．4沉秘温度外观厚度⋯⋯⋯⋯⋯一3．4．5Ar／N2流嘬比与外观厚度⋯～35分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3．6小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．第心章镀膜层磨损和腐蚀性能研究⋯⋯4I样品耐磨性实验及结果⋯⋯⋯⋯⋯⋯41．1对比磨损试验结果与分析⋯⋯⋯412麝损形貌及分析⋯⋯⋯⋯⋯4．2腐蚀实验结果发分析⋯⋯⋯⋯⋯．4．21镀膜层的自腐蚀电位⋯⋯⋯4．22动电位撒化曲线⋯⋯⋯⋯．4．221镀膜层在酸性溶液中的极化行为4．222镀膜层在t1r性溶液中的极化行为4．223镀膜层在碱性溶液l=}『的极化行为423腐蚀形貌观察⋯⋯⋯⋯4

5、3小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．第血章结论与展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯．5I结论⋯⋯⋯⋯⋯．5．2腥塑⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯致谢⋯⋯⋯⋯⋯攻读学位期问蕾要的研究成果⋯⋯博拇加加加甜引引丝丝丝幻M斟巧拍”””∞引¨。："”"诣帅驼蛇鸵舭钾鲫巾南人学硕L学忙论文筇带绪硷1研究的背景1刀具涂层技术概述第一章绪论刀具表面涂层技术是应市场需求而发展起米的一项优质表而睇d技术，山于垓项技术可使切削刀具获得优良的综合机械制-能，不仅'J'4f效地提商川典使川寿命，而I【还能人幅度地提高机械加I。效率。表m涂层技术II。1iI的匝竖

6、麻川^阳足利川原f轰。Ir材料表面形成保护型膜』毒从m时^￡体进{J二优化政稗的。m‘涂J芒虽然柏搬人的应川领域，f11IlI¨t札能的单性而受到使川J的局限，无法满足综合性能的要求，⋯此3川J场的使川潜力较为订限，址节小褂小被多，i化的涂层所替代。这也是涂层山简巾到复杂．III啦到多儿涂层发腥的必然趋势：巫具针对性．更为复杂的涂层材料被』。泛的发现和使川，型好地满足切割【：艺的要求。这些趋势，可以简单的概括为涂层精细纳米化，涂层多堪化，涂层耐滩悱高，l’艺复杂儿稳定。从工艺角度考虑，MT-CVD(，1I温化学气

7、相沉秘)、PVD(物理气柏沉秘)等工艺方法具有很大的优势．⋯而逐渐成为川且涂层行业的1：流制备L：艺。美国商务部门分析认为，表l』ii涂丘；技术将成为．卜I吐纪的关键技术之一15】。我闻有芙部门已把袭改项技术作为作为重婴内符列入&远发展J!l!划，将其作为重人节能、节约资源措施大力纰纵实施。表Ⅲ涂层技术必将以¨独特的优势成为二r_11I=纪的主导技术之一，j}将带动航空、航天、新能源、信息技术的黼逑发展16l。12主要制备工艺及特点川具涂层技术H前_J划分为两人类，[![JCVD(化学‘t州0C秘)用lPVD技术

8、(物理气相沉积)。其中，出现fI：tll：纪七㈤‘代术划的PVD技术，⋯十l：艺沉秘温度低(可控制在400"C以F)便于实际7b“控制，常常作为最终的处理一艺，在l箭遵钢类刀具的涂层领域中宵较r'的使川。返种工艺能够报好的提高高速钢刀具的切削性能，l：J司此PVD技术在八十年代就得到极大的发展。PVD技术在高速铡川只领域的成功应用后，符

9、_14学辑、fiJf究人员及I。F