lsmo薄膜磁控溅射制备及磁学性能的研究

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1、摘要镧系稀土锰氧化物LaHsrxMn03(LSMO)具有天然钙钛矿晶体结构，聪想LSMO是立方筵褥；但避鬻零跨变藏王E交结稳或菱形缝擒。童予英巽煮庭磁电斑(CMR)效应，使得其在信息技术领域裔警广黼的应用蓊景。这瓣鹾大酶磁宅黻德总是出现在膳里温度附近，且随着温腱的降低或升简，都会很快降低。到目前为止，对Lal。Sr；Mn03氧化餐，在x=0．2～0．5蓬星内辫蕊嚣囊CMR彝铁磁蕊，虽多数材辩静屠里温度高予室溢，这促落了该体系的整温器件静研究与开发，并成为近年来磁学领域的研究热点之一。奉文潮瓣菝戳羹法剿餐LS

2、MO薄貘，主要研究爽察蟊下所迷：t。本文采丽射频磁掩溅射法在si、LAO萃珏LSAT衬病上带I备出取向的Lao．5Sro,5Mn03薄膜。通过XRD、AFM、XPS幂口振动样品磁强度计(VSM)样测试手段对嚣积薄膜敬貉鞫和缝缝避行了表，覆。警黎菱蕊，掘，舞珐jMn03薄膜酶绪梅帮生长遮发与沉积瀑度帮衬底褪料等工艺参数密凌相关；蕊涮餐Lao5Sro．5Mn03薄膜熟有较平整的表面，且其晶粒也比较致密。此外，Lao．5Sro。5Mn03薄貘的磁学蛙匏测鏊臻渠表臻：诚薄蔽表现出鞠显翡自旋玻璃态行为。2．采用射频磁

3、控溅射法在si(100)衬底上制备出取向LSMO薄腆以及以SrMa03和SrO为缓冲层豹敬翔LSMO薄膜。通过XRD、RBS测试手段对沉积薄膜遘孬了袋征。结象表蹬，逶过台理豁控裁工艺参数可在Si(100)树底主获褥麓择优取向的LSMO单腰膜；可在Si(100)衬底上获得SrMn03和SrO为缓冲朦的(110)釉000)面择优取向的LSMO簿膜，而且与应用传统多髅缓冲层结构相魄，庶篪SMO缓砖屡掰彳荨Lao、sSro2MnOs薄膜中LSMO／SMO以聂s磁掰Si之间的界面无明显扩敝现象。这进一步表明邋过采用S

4、MO缓冲层所得Lao．8Sro．oMn03基薄膜与树底si之间具有很好的界面特性，这为进一步实现钭襞矿锈氯化穗基器释与传统半导体si葑底藜集成遥甓了实验参考。关键词LSMO薄膜；射颁溅射；自旋墩璃态；界面扩散北京工姚大学工学硕士学位论文ABSTRACTLal—xSrxMn03(LSMO)hasthepervoskitestructurenaturally,theidealstructure0fLSMOiscubicstructure，asthestrainexistsinLSMOfilm，theusuals

5、tructuresaretherhombicandorthorhombicstructure。SincetheLSMOfilmsexhibitthecolossalmagnetoresistanceeffect，theyhavewidepotentialapplicationsinthefieldofinformationtechnique。ThecolossalmagnetoresistanceappearsattemperatureclosetOtheCurietemperature，andwillre

6、ducewiththetemperaturebeingincreasedordecreasedquickly．Uptonow,thetypicalcompositionwherecolossalmagnetoresistancecouldbeseenisx=0．2-0。5．andmostoft11esematerialshavetheCurietemperatureaboveroomtemperature，whichpromotestheresearchanddevelopmentofroomtempera

7、turedevices，andinrecentyearsbecomesaveryinterestedareainmagneticfield．LSMOthinfilmsweredepositedbyRFmagnetronsputteringinthisthesis，andthemaincontentsofthethesisareasfollows：(i≥OrientedLao．sSro。sMn03filmsweredepositedonSi，LAO,andI．SATbyRFmagnetronsputterin

8、g．WiththehelpofXRD，AFM，XPS，andVSM，thestructureandpropertiesofLao．sSro．sMn03filmswerecharacterized。Theresultsshowthestructureandgrowthrateof120．sSro．5Mn03filmsaretightlyrelatedtothedepositiontemperatureandsubs