三维微表面相移干涉术的研究

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1、浙江大学硕士学位论文摘要摘要‘Y876985相移干涉术(PsI：Pl粥e—shimngInterfefomety)作为一种光电型干涉测试技术，具有结构简单、调制方便、实时高速、高精度以及全场自动测量等优点，且已广泛应用于光学零件、光学系统、精密表面的检测以及其它与光程差参数相关的物理量的测量(如温度场、密度场等)。本论文对三维微表面形貌相移干涉测试技术展开了较为全面、系统的理论与实验研究工作。针对相移干涉术的核心问题—相位提取技术以及相位解包裹算法进行深入研究。根据干涉系统中参考板的移相需要，设计出一套步进电机控制系统。在M

2、irau型干涉显微成像系统硬件实验平台上，结合各种相位提取算法来获取物体表面形貌，本课题完成了精密移相系统以及相移干涉术核心算法的设计，大大提高了测量的精度。全文共分五章，组织结构如下：第一章绪论。说明开展本论文研究工作的背景，分析了表面形貌测量的主要技术并作了简单比较，介绍相移干涉术的研究现状和发展趋势，最后阐述本文的研究目标及主要工作。第二章相移干涉术的理论基础。本章一开始介绍了常用干涉显微机构以及位相测量方法，然后全面分析了相移干涉术的测量原理、相移技术(压电控制技术和步进电机控制技术)、采样分析以及物体表面形貌的获取

3、，最后分析相移干涉术中的测量误差。，、第三章相位提取技术及相位解包裹算法。本章为全文的核心算法章节，安排如下：分三大类对相移算法进行全面剖析(包括误差分析和性能比较)，提出本文的相移算法，重点介绍本课题实现的相位解包裹算法：Fly胁最小断点算法，最后给出了实验数据分析。第四章实验结果及数据分析。在这一章节中，我们给出了自行设计的步进电机控制系统，然后是基于相移干涉术硬件实验平台——Mirau型干涉显微成像系统，采集实验数据，分三个层次对数据进行了详细分析和深入讨论，得出结论。第五章总结与展望。本章对全文所作的工作进行了总结，

4、并探讨了需要进一步深入研究和完善的工作。关键词：相移干涉术，相位提取技术，相位解包裹算法，三维形貌，Flyrul最小断点相位解包裹算法，压电控制技术浙江大学硕士学位论文摘要ABSTRACTPhase．shiftinginte疵rome廿y(PsI)hasbeencollside他dasatypeofopto—electricalmeasuringinterfemme廿yandithasmanyad咖ges，suchassimplestructure，easilymodulated，f缸tandrealtime'highacc

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