熱處理溫度對浸漬法制備氧化銦錫薄膜之影響摘要 - 國立交通大學機構

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1、熱處理溫度對浸漬法製備氧化銦錫薄膜之影響學生：曾奕森指導教授：周長彬國立交通大學機械工程研究所碩士班摘要氧化銦錫是ㄧ種透明導電的材料，由於它的高導電性(120ohm/square)和高透光率(90%)的特殊性質，所以被廣泛的利用在平面顯示器與太陽能電池上；在這篇論文中，我們將利用浸漬法(DipCoatingProcess)和熱處理來製作ITO導電玻璃，實驗目的在於改變熱處理溫度和氣氛觀察對ITO導電玻璃的影響並且對於量測結果加以分析討論。實驗將用四點探針量測其片電阻，利用Hall量測儀測量其載子濃度與遷移率，光譜儀

2、測量其透光率與反射率，XRD與SEM量測薄膜厚度、晶粒大小和晶粒的優選方向。實驗結果顯示隨熱處理溫度越高其片電阻越低，熱處理氣氛中添加還原氣體可以降低其片電阻；最低的片電阻到達120Ω/□，已經到達商業用途(觸控面板)的要求。IEffectsofheattreatmenttemperatureonpropertiesofindiumtinoxidefilmspreparedbydipcoatingStudent：Yi-SenTzengAdvisor：Chang-PinChouInstituteofMechanica

3、lEngineeringNationalChiaoTungUniversityABSTRACTIndiumtinoxide(ITO)isanimportanttransparentconductingmaterial,especiallyastransparentelectrodesofflatpaneldisplay(FPD)includingsolarcellsandtouchpanels.Inthisstudy,weuseITOnano-particalinethanolsolutiontoprepareth

4、ethinfilmusedbydipcoatingprocessonquartzglasses.HeattreatmenttemperaturewaschangedandthreedifferentatmosphereswereblowingovertheITOthinfilmduringthirtyminutesinordertoknowtherelationshipbetweenheattreatmentconditionsandfilmsproperties.Theheattreatmenttemperatu

5、remadethegrainsizeandgrainorientationchanges.Thedifferentatmospheremadedifferentelectricalproperty.Weinvestigatedthatgoodfilmstructureandsurfacemorphologydecreasedthesheetresistance.Theopticaltransmittancewasmorethan85%inthevisiblerangeandthelowestsheetresista

6、nceis120Ω/□.Thesequalitiesalreadyreachedtotheorderoftouchpanelintheindustry.II誌謝來到交大的兩年裡，受到許許多多的人照顧，點滴恩惠都將銘記心中；我的家人總是給予我精神上全力的支持，由於有他們的相挺，使我不論在何處都有勇氣去面對艱難的問題，謝謝支持我的家人。非常慶幸求學的路上可以遇到楊明輝博士與陳楷林學長，他們總是嚴以律己寬以待人，做事則要求盡善盡美，見到他們這樣的自我要求，讓我有一種言教不如身教的感覺，我將會以他們為榜樣，在未來的路上好好

7、努力，謝謝楊博與楷林。感謝晶圓光電郭冠助經理在繁忙的公務中，願意撥空幫助我完成Halleffect儀器的量測，並且提醒我實驗有可能出問題的原因；感謝清華大學材料所溫志遠同學，提供XRD儀器的量測；感謝海洋大學材料所周雅玲同學，提供SEM拍攝的幫助，沒有以上三位的幫助實驗將無法順利進行，謝謝你們，萬分感激；感謝口試委員王正全博士，將學生的論文仔細閱讀後，一一提出指教，感謝指導教授周長彬老師，總是替學生設想，提供學生最好的求學環境。每當實驗的過程遭遇困難或是課業上的難題，室友勝閔、孟德和旭昌都願意暢開心胸陪我討論，陪我

8、抱怨，使我度過一個又一個的難題，謝謝你們。奕森2006年6月于交通大學機械所III總目錄中文摘要.....................................................................................................I英文摘要..........................