《应用化学系》word版

《《应用化学系》word版》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、90/12/21修訂罿荿节蝿肁膂蚁螈袁羅薇螇羃芀蒃螇肆肃荿螆螅艿芅螅袇肂薃袄羀芇葿袃肂肀莅袂螂芅芁袁羄肈蚀袁肆莄薆袀腿膆蒂衿袈莂莈蒅羁膅芄蒅肃莀薃薄螃膃葿薃袅莈莄薂肇膁莀薁膀肄虿薀衿芀薅蕿羂肂蒁蕿肄芈莇薈螃肁芃蚇袆芆薂蚆羈聿蒈蚅膀芄蒄蚄袀膇莀蚃羂莃芆蚃肅膆薄蚂螄莁蒀螁袇膄莆螀罿荿节蝿肁膂蚁螈袁羅薇螇羃芀蒃螇肆肃荿螆螅艿芅螅袇肂薃袄羀芇葿袃肂肀莅袂螂芅芁袁羄肈蚀袁肆莄薆袀腿膆蒂衿袈莂莈蒅羁膅芄蒅肃莀薃薄螃膃葿薃袅莈莄薂肇膁莀薁膀肄虿薀衿芀薅蕿羂肂蒁蕿肄芈莇薈螃肁芃蚇袆芆薂蚆羈聿蒈蚅膀芄蒄蚄袀膇莀蚃羂莃芆蚃肅膆薄蚂螄莁蒀螁袇膄莆螀罿荿节蝿肁膂蚁螈袁羅薇螇羃芀蒃螇肆肃荿螆螅艿芅螅袇肂薃袄

2、羀芇葿袃肂肀莅袂螂芅芁袁羄肈蚀袁肆莄薆袀腿膆蒂衿袈莂莈蒅羁膅芄蒅肃莀薃薄螃膃葿薃袅莈莄薂肇膁莀薁膀肄虿薀衿芀薅蕿羂肂蒁蕿肄芈莇薈螃肁芃蚇袆芆薂蚆羈聿蒈蚅膀芄蒄蚄袀膇莀蚃羂莃芆蚃肅膆薄蚂螄莁蒀螁袇膄莆螀罿荿节蝿肁膂蚁螈袁羅薇螇羃芀蒃螇肆肃荿螆螅艿芅螅袇肂薃袄羀芇葿袃肂肀莅應用化學系計畫名稱：高透射率嵌附層、唯相移層、極短紫外光反射式圖罩吸收層與緩衝層之材料、電漿蝕刻與性質探討研究者：龍文安經費來源：行政院國家科學委員會關鍵詞：嵌附層；唯相移層；吸收層；緩衝層解像度增進技術一般可分為偏軸發光、相移圖罩與表層成像三種。偏軸發光已屬微影機台基本配備；表層成像製程複雜，業界接受度不高；相移圖

3、罩則仍有廣大之研究空間。嵌附式減光型相移圖罩，可適用於248、193、157、126、13、0.8奈米，涵蓋深紫外光、極短紫外光、X-光，可謂全部微影波長皆可適用；且尚有製備較易，適用於各式圖形之優點，因此，其重要性無庸置疑。正規減光型，通常嵌附層透射率T=6%，本計畫重點在研製T>30%高透射率嵌附層。唯相移層（無鉻膜）相移圖罩以石英為基材，以石英厚度差達成相移，適用於248、193奈米微影，因強烈吸收，不適用於157奈米以下之微影。但因透射率～100%，具特殊功能，其重要性目前已日益提升。13奈米極短紫外之理論微影解像度可達～7奈米，初期量產以～45奈米解像度切入，為下世代微影

4、技術之熱門競爭者。其重要性亦無庸置疑。本三年計畫主要探討項目如下：1.探討248、193奈米微影嵌附式減光型相移圖罩之高透射率(>30%)嵌附層，其材料、光學、物性、化性、電漿蝕刻等性質。以PROLITH/2D進行模擬（248奈米），探討應用於相移圖罩、透射率控制圖罩與相關光學鄰近效應之修正。2.探討193奈米微影唯相移層（無鉻膜）相移圖罩（透射率～100%）之蝕刻硬罩、石英蝕刻、圖罩之製備方法。3.探討13奈米微影極短紫外光吸收反射式圖罩之吸收層與緩衝層材料搭配與電漿蝕刻特性。緩衝層將以碳層為優先考量。因欠缺適當設備之故，反射多層膜未列入探討項目。本計畫為製備100至45奈米線幅

5、解像度之前瞻性研究，並兼顧學術性、應用性與研究生培訓。NSC92-2215-E009-066(92N422)------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------計畫名稱：對稱性與生物鹼合成研究者：何子樂經費來源：行政院國家科學委員會關鍵詞：生物鹼；全合成生物鹼全合成完成了tacamonine和cryptolepine與cryptotackiene，其他涉及一些異奎林生物鹼新合成方法，oxydimu

6、rrayafoline也在研究之列。NSC92-2113.M009-014(92N088)------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------計畫名稱：特殊beta-1,3-葡萄五醣生產酶之反應機構研究與其應用之開發研究者：李耀坤90/12/21修訂經費來源：行政院國家科學委員會關鍵詞：-1,3-葡萄聚醣酶；-1,3/1,6-葡萄寡醣；-1,3-葡萄五醣生產酶；反應機構；親和性抑制劑；定點突變；定

7、向演化；-1,3-葡萄醣轉移酶b-1,3-葡萄聚醣酶(b-1,3-glucanases)廣泛的存在於自然界如細菌、黴菌和植物中，一般認為這些酵素的催化特性均頗為類似，例如內切型b-1,3-葡萄聚醣酶之催化產物大都為含有二醣、三醣和四醣之混合體，而外切型b-1,3-葡萄聚醣酶之催化產物則為單醣或二醣或其混合體。然而，最近有一特殊酵素(b-1,3-葡萄五醣生產酶;laminaripentaose-producingb-1,3-glucanases,簡稱LPGase)被發現