基于arm的激光晶体炉上称量控制系统研究

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1、独创性声明秉承祖国优良道德传统和学校的严谨学风郑重申明:本人所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的成果。尽我所知，除特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人的研究成果。与我一同工作的同志对本文所研究的工作和成果的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并已致谢。本论文及其相关资料若有不实之处，由本人承担一切相关责任_论文作者签名:枷蚁‘川年;月多!日学位论文使用授权声明本、颜迪叭崔导师的指导下创作完成毕业论文。本人己通过论文的答辩，并已经在西安理工大学申请博士/.硕士学位。本人

2、作为学位论文著作权拥有者，同意授权西安理工大学拥有学位论文的部分使用权，即:l)已获学位的研究生按学校规定提交印刷版和电子版学位论文，学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存研究生上交的学位论文，可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索;2)为教学和科研目的，学校可以将公开的学位论文或解密后的学位论文作为资料在图书馆、资料室等场所或在校园网上供校内师生阅读、浏览。本人学位论文全部或部分内容的公布(包括刊登)授权西安理工大学研究生部办理。(保密的学位论文在解密后，适用本授权说明)_论文作

3、者签名;导师签名:砷甲年;月‘l日摘要论文题目:基于ARM的激光晶体炉上称重控制系统研究学科专业:机械电子工程研究生:尚付鹏签名:‘加耀红导师:杨军良副教授签名:靡绎泌摘要激光晶体材料的不断发展及广泛应用，对生长晶体材料的基础设备提出了更高的要求。本论文在分析国内外晶体生长设备和方法的基础上，针对性地提出了一套完整的基于ARM公司最新CORTEX一M3核产品的激光晶体上称重控制系统方案。论文首先简要介绍了激光晶体的发展和控制技术，然后结合国内外晶体生长设备现状和市场需求，详细讨论了目前激光晶体生长

4、所普遍采用的几种生长工艺，并比较总结出最理想的激光晶体生长工艺技术—激光晶体提拉法上称重控制技术。在此基础上，本课题针对晶体生长工艺理论设计了相应的机械结构，在等径生长工艺基础上建立了串级控制数学模型。由于实际控制环节存在大滞后性，在晶体重量信号采样环节引入了模糊Pm自适应控制，并利用M产TLAB的SIMUL刀闷K工具箱进行了仿真，仿真结果满足实际控制要求，从而验证了该数学模型的可行性。本控制系统充分利用了sT公司的具有最新coRTEx一M3内核的STM32F103微控制器在嵌入式领域的优势资源，

5、利用RTOS林C/o51这一可剥夺型实时内核在嵌入式控制器上的解决方案，缩短了开发周期，降低了开发成本。根据控制系统的设计要求，设计完成了相关的硬件电路，并结合触摸屏技术和MiniGUI用户图形接口实现良好的人机交互界面。本课题将理论研究与实际开发有机地结合起来，结合最新的嵌入式系统开发平台，成功地实现对激光晶体生长设备的机械设计及控制，同时也对其它材料晶体生长提供了重要参考。鉴于硬件控制部分所具有的通用性，本课题的研究对于任意单晶生长设备的研发都具有一定的指导意义。西安理工大学硕士学位论文关键词

6、:晶体生长;提拉法;Cortex一M3;模糊PID;pC/OSllAbstraetT云tle:TheResearchofPullingTechniqueofLaserCrysta.FurnaceControlSystemBasedonARMMajor:MechanicsandElectronicsEngineeringName:FuPengSHANGS’gn·，一妙华肆SuPervisor:ASsociateProf.JunliangYANGSignatureAbstmCtWiththeeonii

7、nuousdeveloPmentandextensiveaPPlieationoflasercrystalmaterials，ahighdamand15neededforthebasieequiPmentofCrystalGr0Wth.BasedontheanalysisinthegowthequiPmentandmethodoferystalathomeandabroad，inthisPal祀rafullProjectcontr01systembasedonA丑MCortex一M3eorehas

8、beenPutfop刀盯dinPullingteehniqueoflasercrystalinPertineney.Atfirst，thisPaperintrodueessimPlythedevefoPmentandeontrolteehnologyforlasereystal，thendiseusstheuniversalgrowthteehnologyoflasererystalatPresentindetailbyeombindingwiththePresentsituati