晶圆划切机控制及远程客户服务系统研究与开发

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1、查些垄堂婴主笙圭一——————————!壅墨晶圆划切机控制及远程客户服务系统研究与开发摘要晶圆划切机是半导体材料加工的重要设备之一，其主要功能是把硅棒、石墨、陶瓷、玻璃、矿石和金属等材料切成厚度相等的薄片或划出一定深度的槽。本文设计了PC控制的上、下位机分立结构的晶圆划片切割控制系统，给出了硬件和软件系统的设计方案。在硬件方面，采用一片AT89C51单片机作为控制器的CPU，实现对x轴、Y轴、z轴三个步进电机的同时控制，并利用单片机内部时钟的精确计时实现对电机运动速度的控制，加工出的晶片厚度误差不大于士

2、o．01ram；上位机软件采用Bodand公司的RAD开发工具c++Builder6。0编写，应用MOXA公司的PComm控件实现与下位机的串行通讯，可运行在任何Windows平台上，安装简便，图形化界面一目了然，并且能够实现图形的切割显示与下位机的加工过程基本完全同步，完整的中英文帮助文件和智能向导功能便于用户的操作和使用，人机交互的友好和快捷充分提高了加工效率；采用标准的RS-232串行通讯，高速、稳定的数据传输保证了系统的高可靠性运行。此外，针对国内控制软件的单机化、自诊断和分析性能差等缺点，本文

3、还提出了基于Interact的远程客户服务系统的结构模型，介绍了其六大主要功能模块：故障诊断、多媒体培训、版本升级、企业网站、客户管理和工程支持及其实现的关键技术。在故障诊断数据库搜索方面提出了基于向量模型的条目匹配搜索算法，该模型已部分应用到了实际的晶圆划片切割系统中进行了检验，取得了比较好的效果。关键词划片切割单片机c++Builder6．0串行通信PComm控件·1I·查!!垄兰堡主垒查垒!!!竺!CrystalloidDicingSawControlandtheResearchandDevelo

4、pmentofRemoteCustomerServiceSystemAbstractCrystalloiddicingsawisoneofthemostimportanteqIlipmemsinmachiningsemiconductormaterials．Itsmainfunctionischoppingsiliconstick，graphite，porcelain，glass，ore，metalandetc．intoequivalcmthicknessslicesandliningoutsomede

5、epnesstrough．Thethemedesignedaslices-cuttingcontrolsystemwhichhardwareandsoftwareseparately．Inhardwareaspects，adoptedachipofAT89C51MCUasCPUachievingsimultaneitycontrolofXaxis，YaxisandZaxisandworkingindrivingcircuitwithsteppedelectromotors．Themachiningout

6、slicesthicknesserrorlessthan士0．01ram．So,warecompiledbyRADdevelopingtool—C++Builder6．0ofBorlandenterprise．realimngserialcommunicationbyPCommcontrolofMOXACorporation．ItCanrunonanyversionWindowsOS．Thekindnessandquicknessofhuman·machineexchangeinterfaceiseff

7、iciency．ItsstandardRS一232serialportensuredthestability．Futhermorebasedonnationcontrolsoftwarestand-alone．1esSself-diagnosisandanalysis，thethemebringsupthemoduleofremotecustomerservicesystembasedOilIntemet．Anditintroduces6functionmodules：faultdiagnosis，mu

8、ltimediatraining，editionupdate，enterpriseweb，customer’Smanagementandprojectsupporting．Alsoitin订oducesthekeytechniqueonrealizing．Onthefaultdiagnosisdatabasesearchingaspects，thethemeputsforwardaarithmeticofentrymatchingbaseo