超深亚微米物理设计中天线效应的消除

《超深亚微米物理设计中天线效应的消除》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、万方数据DOI：10．3969／j．issn．1003—353x．2012．06．004集成电路设计、制造与应用Design，ManufacturingandApplicationsofIC超深亚微米物理设计中天线效应的消除张智胜，吴秀龙(安徽大学微纳电子器件与集成电路设计省级实验室，合肥230601)摘要：分析了超深亚微米物理设计中天线效应的产生机理以及基于超深亚微米工艺阐述了计算天线比率的具体方法。同时，根据天线效应的产生机理并结合时钟树综合提出了消除天线效应的新方法。此方法通过设置合理的约束进行时钟树综合，使得

2、天线效应对时钟延时和时钟偏斜的影响降到最低，从而对芯片时序的影响降到最低。最后结合一款芯片的物理设计，该设计采用台积电(TSMC)65am低功耗(LP)工艺，在布局布线中运用所述的方法进行时钟树综合并且使得时钟网络布线具有最大的优先权。此方法有效地消除了设计中存在的天线效应，并且使得天线效应对时钟树的影响降到最低以及对时序的影响降到最小。关键词：超深亚微米；天线效应；时钟树综合；时序；布局布线中图分类号：TN402文献标识码：A文章编号：1003—353X(2012)06—0429—04ProcessAntennaE

3、ffectEliminationinUltraDeepSubmicronPhysicalDesignZhangZhisheng，WuXiulong(AnhuiProvincialLaboratoryo，Micro·NaaoElectronicDevicesandICDesign，AnhuiUniversity，Uefei230601，China)Abstract：Themechanismofprocessantennaeffect‘inultradeepsubmicmnphysicaldesignwasanalyze

4、dandtheantennaratiocalculationmethodwhichwasbasedontheultradeepsubmicronprocesswasprovided．Aneweliminationmethodofprocessantennaeffectcombinedwithclocktreesynthesizewasproposed．Theeliminationmethodminimizedtheimpactontheclocklatencyandclockskewbysettingupreason

5、ableconstraintforclocktreesynthesize，soastoreducetheimpactontimingofthechiptothelowest．Finally，theeliminationmethodwasusedforclocktreesynthesizeduringplaceandrouteofthephysicaldesignofachipwhichwasbasedonTSMC65nmlowpower(LP)technologyandtheroutingofclocktreenet

6、workhadthemostpriority．Themethodeliminatedtheprocessantennaeffectofthedesigneffectively，andminimizedtheimpacttoclocktreeandchiptimingtotheleast．Keywords：ultradeepsubmieron；processantennaeffect；clocktreesynthesize；timing；placeandrouteEEACC：25700引言集成电路(integrated

7、circuit，IC)已经经历了从小规模、大规模到超大规模的发展，特征尺寸的基金项目：安徽省教育厅重点科研项目(KJ2010A022)E-mail：zhangzhishen973@163．COIIIJune2012不断缩小使得Ic的工艺生产已经进入了深亚微米和超深亚微米时代。因此．IC加丁的复杂性迅速增加，而等离子体技术由于具有微细化和低温化等优点，已广泛应用于超大规模集成电路制造中。由于等离子技术在IC加t过程中在导体表面上积累电荷，从而会造成对小尺寸MOS管栅极造成充电Semiconduttor‰^Mf。影VoL

8、37No．6429万方数据张智胜等：超深亚微米物理设计中天线效应的消除损伤。这种电荷的积累和释放严重时会击穿MOS管薄的栅氧化层，造成芯片不能正常工作。这种芯片失效称为“天线效应”¨。1。当工艺的发展进入超深亚微米时代，金属层数越来越多，天线效应产生的概率也就越来越大。本文阐述了工艺天线效应的产生机理、计算方法以及消除天线效应的方法，并结合一款