nikon scanner同期精度控制方法地研究及实现

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1、万方数据NIKONSCANNER同期精度控制方法的研究与实现大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用内容和致谢的地方外，本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果，也不包含其他已申请学位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。若有不实之处，本人愿意承担相关法律责任。学位论文题目：必匦垒咝卤篁＆盎堑擅生乜丞煎硒!超建盈作者签名：劲、勉蕴日期：妇埤年—生月卫日万方数据大连理工大学专业学位硕士学位论文摘要随着摩尔定律的不断延

2、续，半导体芯片的集成度越来越高，单位面积内的晶体管数量也越来越多，随之而来的就是线宽的不断减小，这也就对半导体光刻设备的解析度和套刻精度的要求越来越高。为了满足这些要求，光刻机由最开始的步进式光刻机发展到步进扫描式光刻机，再到当前市场主流的浸润式光刻机，解析度由最开始的微米级发展到纳米级，套刻精度也由最初的几微米发展到目前最新为2．5纳米套刻精度的光刻机。与此同时，由于精度的不断提高，对光刻机内部各部分运动的同步性要求就越来越高，业内提出了同期精度这个用来评价光刻机各部分运动同步性的指标，相关理论与评价方法受到广泛研究。由此本文将尼康NSR-S204扫描光刻机作为对象，研究

3、机台的同期精度测量评估及同期精度控制方法。本文阐述了扫描光刻机的曝光系统、坐标系统、动态曝光操作方式、同步控制技术等基本结构和原理，在此基础上进一步分析了同期精度概念和评价方法。将这些理论和方法用于尼康NSR-S204扫描光刻机，对设备的误差值、平均值、移动标准差、快速傅立叶变换等关键参数的采集和分析，实现了同期精度的快速评估。进一步的，针对工程项目中出现的同期精度评估不合格情况，结合设备故障现象，通过抓取的数据分析出问题所在，逐步排除故障问题点，然后发现问题源头所在，并通过对比发现所有NSR．$204机台都存在相同隐患，最后制定了光刻机改造方案并加以实施。改造后的光刻机经

4、用户测试和现场实际使用，结果表明，本次改造非常成功，从根本上消除了类似同期精度问题的再次发生，减少了停机时间的同时，也给客户带来了丰厚的收益。关键词：扫描式光刻机；同步控制；同期精度评估；同期精度控制万方数据NIKONSCANNER同期精度控制方法的研究与实现万方数据大连理工大学专业学位硕士学位论文ResearchandImplementationofControlMethodofNikonScanner’sSynchronizationAccuracyABSTRACTAsMoore’Slawcontinues，theintegrationofachipishigheran

5、dhigher，thenumberoftransistorsperunitalsomoreandmore，thelinewidthdecreases，thisrequireslithographytool’Sresolutionandoverlayaccuracybecomehigherandhigher．Inordertomeettheserequirements，lithographytoolmanufacturingfactory’Sproductionisalsofromsteppertothescanner，andthentotheimmersionlithogr

6、aphytoolwhichiscurrentlythemainstreamproductionofthemarket，andalsotheresolutiongoesfromthemicronofthebeginningtothenanometerlevel，theovedayaccuracyfromafewmicronstothelatest2．5nmoverlayoflithographyt001．Atthesametime，becauseofthecontinuousimprovementoftheaccuracy,lithographytoolrequireshig

7、haccuracymovementofeachinternalcomponent，SOsynchronizationaccuracyWasdevelopedtoevaluateaccuracyofeachcomponent’Smovementoflithographytool，andrelatedtheoriesandevaluationmethodsarewidelystadied．Therefore，thesynchronizationaccuracyevaluationofNikonNSR-S204toolW