《真空技术系列实验》实验指导书

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1、《真空技术系列实验》实验指导书机械工程与自动化学院指导教师：李建昌教授、张德元老师实验地点：机电馆329A、329B、机118B实验时间：据老师和班长的通知实验：16学时学分：1.5分真空与过程装备实验室2018年10月1一、实验内容实验一、真空计实验（包含在第三、四项实验之内）1实验目的通过实验了解真空计的结构特点及工作原理。2实验装置FZH-1A复合真空计，DL-8AⅡ型电离真空计，真空规管，如下图所示。3实验要求1）通过查找资料了解真空计的测量原理，掌握测量方法及其应用范围，完成预习报告。2）此项实验室涵盖在实验三和实验四过程中的，要在实验过程中观察真空

2、计的测量方法与读数特点，了解内部结构和工作原理，掌握选配真空计的原则和使用方法。实验二、涡旋泵拆解实验（地点：机329A）1实验目的通过实验了解涡旋泵的结构特点及工作原理。2实验装置VARIAN干式涡旋泵，如下图所示。3实验要求1）通过查找资料了解涡旋泵的原理及应用场合，完成预习报告。2）应注意涡旋泵各个部件的设计特点、工作原理和抽排气特性，直观的认识涡旋干泵区别于其它机械泵之处。3）拆卸泵之后要还原到原状态，工具归位，整理好实验台。2实验三、真空系统组装实验（地点：机329B）1实验目的掌握简单真空系统的搭建，认识真空系统中的各个部件及每部分起的作用。2实验

3、装置在真空系统中，主要由真空获得部分，真空管道，真空室，真空测量部分等组成，实验室有关这些配件的清单见附录，部分配件示意图如下。3实验要求1）查找相关资料，了解真空配件的型号意义，并利用实验室现有设备自行设计一套真空系统，要求真空系统的真空度至少达到0.1Pa。2）该套真空系统应配有真空测量装置，以及阀门等必要配套设施。3）实验前设计出真空系统的搭建方案，列出所需部件，绘制出真空系统组成简图，经过任课教师检查后安排实验时间。实验四、真空物理综合蒸发镀膜实验（地点：机118B）1实验目的掌握真空综合镀膜系统的结构、设计、组成、工作原理，通过现场实际薄膜样品的制备

4、，获得真空镀膜的相关直接认识，了解各种镀膜技术原理和应用背景。2实验系统真空物理综合实验平台在机电馆118B，为本所李建昌老师总体设计，沈阳科仪具体承接设计加工，具备真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、原位真空器件的制备和表征、离子清洗等功能。3实验要求应该画出系统的结构图，必要时可以分各个系统如蒸发部分、抽气系统、涡旋干泵、基片架等来表达，必要时可以用不同视图关系，每个部件应该拉线标记清楚；写出镀膜过程与步骤，论述各种镀膜方式的优缺点等等。二、实验成绩考核办法1、实验按每组不超过10人分组自由组合，所有实验组员不变，评分标准如下：3（1）预习报告：认准查找资料，做好

5、每个实验的背景知识储备，要求资料收集全面并做成word文档打印出来，实验前交给任课教师，任课教师检查合格后方可开始实验。（2）实验现场：考察实验现场学习态度。是否积极参与实验工作过程，认真记录实验数据，善于观察、发现、提出和总结问题。由任课教师记录并给出成绩。（3）实验报告：结合自己做的预习报告，检验实验是否达到预先的目标，认真撰写完成实验报告，实验报告项目齐全、内容正确、语言流畅、图表清晰、数据翔实、结果正确。组间雷同，按不及格处理。注意：实验报告要手写手绘，用A4纸单面，每项实验约2-4页（包括插图），报告总体不少于10页（不包括封面）。记得每页报告应在右

6、下角标记页码。（4）报告撰写：参考以下所附<实验报告撰写指导>，独立认真的完成整个报告的撰写，为避免抄袭现象，不允许使用打印，应该手写手绘完成。（5）报告评分：按照报告撰写和绘图的认真程度、内容翔实与对应程度、报告撰写的工作量多少，综合评定成绩。不按要求完成并提交报告者按不及格处理（只能留级重修）。实验现场注意事项（1）注意安全，小心使用实验配件。（2）实验过程中，维护良好的秩序。（3）其它未明事宜，根据老师与实验员的具体要求去做。三、《真空技术系列实验》实验报告撰写指导考试类型：考查，学时：16，学分：1.5指导教师：李建昌教授、张德元老师东北大学机械工程与

7、自动化学院真空与流体工程技术研究所一、实验的主要目的：《真空技术系列实验》开设的主要目标是，为了培养过程装备与控制工程专业的本科生，希望通过初步的实验过程，让同学们开始熟悉和掌握一定的与真空工程技术领域相关的设备、仪器、实验、系统组成、应用背景。本实验，是过程装备与控制专业同学在进入大四毕业设计前的一个综合训练内容，通过实验让同学们对真空技术与装备系统有直接的认识与操作，为毕业设计工作，也为了系统的消化所学专业知识，提供了一个很好的基础。二、通过实验的需要理解和掌握的内容：1、掌握机电馆118B实验室镀膜机的详细结构与组成？2、理解为什么该镀膜系统主泵使用分子

8、泵而不是扩散泵？43、明白为什么该镀膜