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1、ICS31.020I.95备案号:700-1997JJ中华人民共和国电子行业.标准SJ/T11131一1997蒸发镀膜设备基本参数系列Basicparameterseriesofevaporationplatingequipment1997-09-03发布1998-01-01实施中华人民共和国电子工业部发布前言本标准是SJ1098-77《高真空蒸发设备参数系列》,SJ1099-77(超高真空蒸发设备参数系列》合并的修订版。本版本对前版两项标准的重要技术内容改变如下:改变了标准名称;根据蒸发镀膜设备的用途和发展，对基本参数项目和数值作了补充和调整;取消了电
2、极对数、离子轰击、工作架转速、真空系统配置等辅助性和可变动性参数。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位:成都南光实业股份有限公司。本标准起草人:陈华先、谭丽、康开丽。中华人民共和国电子行业标准SI/T11131一1997蒸发镀膜设备基本参数系列代替8J1098-77盯1099-77Basicparameterseriesofevaporationplatingequipment范围本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3x10-3P二一5x]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。2定义本标准采用下列定义。2.1极
3、限压力ultimatepressure泵在工作时，空载干燥的真空容器逐渐接近稳定的最低压力。2.2恢复真空抽气时Inpumpingdowntimeofrecovervacuum在规定的操作程序下，蒸发室从大气开始抽至规定压力所需要的时间。2.3漏气速率leakthroughputofavacuumsectem蒸发镀膜设备真空系统，由于漏气渗入到真空系统中、并影响真空容器中压力的气体流量。2.4I件加热均匀度heatinguniformtemperatureofworkpieces工件烘烤时，在被镀工件与烘烤装置之间，距工件表面规定距离处的有效加热区内的温
4、度均匀程度。3墓本参数3.1蒸发镀膜设备的蒸发室尺寸、极限压力、恢复真空抽气时间、工件加热均匀度、工件烘烤温度调节范围和蒸发源功率应符合表1的规定。3.2蒸发镀膜设备的漏气速率应符合表2的规定。中华人民共和国电子工业部1997-09-03批准1998-01-01实施一t一SI/T11131一1997表1参数名称参数数值蒸发室尺寸钟罩式(内径)320,400,500,630,800,1000,1250,1600,1800,2000,2200mm箱式(宽度)550,700,1100,1500,1800挡次ABC极限压力不加液氮(5x10一6镇Sx10一‘(3
5、x10一7P,加液氮(3x10一‘簇3x10-0从大气压抽至从大气压抽至从大气压抽至恢复真空抽气时间1.3x10一‘P,7x10一，P,7x10一2P.min落60簇20毛15工件加热均匀度(10,毛16,落20,<25,毛32℃工件供烤温度调节范围室温一200,室温一250、室温一300,室温一350,室温一400,℃室温一450,室温一500蒸发源功率{电阻蒸发源〔每对)3,5,7,10,12,14,16kW一电子束蒸发源‘每个，3,4,5,6,8,10,15,20,30,50,100,300表2漏气速率参数名称P,"I八极限压力挡次ABC320一5
6、50蕊8x10一心<7x10-630一1250<7x10一，簇7x10一z蒸发室尺寸mm巧00一2000蕊2x10一I2200镇20
