SJT11185-1998蒸发镀膜设备通用规范.pdf

《SJT11185-1998蒸发镀膜设备通用规范.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、ICS31.020I,97备案号:2088-1998I}J中华人民共和国电子行业标准SJ/T11185一1998蒸发镀膜设备通用规范generalspecificationforvapourcoatingequipment1998-03-11发布1998-05-01实施中华人民共和国电子工业部发布前言本标准是根据电子工业部一九九六年标准制修订计划的要求，对sJ1224-77(真空蒸发设备通用技术条件》进行修订。本版本对原版标准的重要技术内容改变如下:a)标准名称略有改变;b)增加了设备的分类与型号命名、制冷系统要求、膜厚均匀性、可

2、靠性等。本标准由电子工业部标准化研究所归口。本标准起草单位:成都南光实业股份有限公司、电子工业部标准化研究所。本标准主要起草人:贺学红、陆裕芳、武又文、赵雨生。中华人民共和国电子行业标准SI/T11185-1998蒸发镀膜设备通用规范代替盯1224-77Generalspecificationforvapourcoatingequipment范围本标准规定了蒸发镀膜设备(以下简称“设备，’)的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于极限压力为3x10-3Pa-5x10-6Pa范围内的钟罩式和箱

3、式蒸发镀膜设备。弓!用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订.使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB191-90包装储运图示标志GB2681-81电工成套装置中的导线颜色GB2682-81电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色GB3797-83电控设备第二部分装有电子器件的电控设备GB5080.7-86设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间验证试验方案GB6388-86运输包装收发货标志GB/T13384-92机电产品包装通

4、用技术条件SJ/T37-1996电子工业专用设备型号编制及命名方法SJ1276-77金属镀层和化学处理层质量检验技术要求SJ1635-19%电子工业管路的基本识别色和识别符号·SJ2573-85涂料涂覆通用技术条件SJ/T11131-1997蒸发镀膜设备基本参数系列SJ20385-93军用电子设备电气装配技术要求3分类与命名3.1设备分类3.1.1按设备的工作压强可分为:中华人民共和国电子工业部1998-03-”批准1998-05-01实施一1一S)/T11185一1998a)高真空蒸发镀膜设备;b)超高真空蒸发镀膜设备。3.1.

5、2按设备成膜的用途可分为:a)半导体、集成电路用蒸发镀膜设备;b)磁带、光盘用蒸发镀膜设备;c)装饰膜、包装膜用蒸发镀膜设备。3.1.3按设备的结构特点可分为:a)钟罩式蒸发镀膜设备;b)箱式蒸发镀膜设备;c)卷绕式蒸发镀膜设备。3.1.4按蒸发加热的方式可分为:a)电阻加热式蒸发镀膜设备;b)电子束加热式蒸发镀膜设备;c)电阻和电子束加热式蒸发镀膜设备;d)感应加热式蒸发镀膜设备;e)激光加热式蒸发镀膜设备。3.1.5按设备自动化程度可分为:a)半自动蒸发镀膜设备;b)手动燕发镀膜设备。3.2设备型号命名设备的型号应按SJ/T3

6、7的规定编制.其具体含义如下:M6丁丁0700一1A!!一、万一下丁飞改进代号，、仁设计顺序号—主参数品种代号型式代号{-一一——类别代号设备名称为‘`700箱式蒸发镀膜设备”。4要求工作条件在下列条件下.设备应能正常工作:a)环境温度:25Ct59C;句相对湿度:不大于90%;动冷却水:进水温度不高于25C，冷却水采用城市自来水或质量相当的水;的供电电源:三相380V士38V或单相220V士22V;频率50Hz士1Hz;e)设备工作所需的压缩空气、氮气、氢气等的耗量、压力.在产品标准中规定。2SJ/T11185-19984.2一

7、般要求4.2.1设备应按规定程序批准的图样及技术文件制造，并应符合本标准的要求。4.2.2设备的电气装配应符合SJ20385的规定。4.2.3设备电气安装时使用的导线颜色应符合GB2681的规定。4.2.4设备使用的按钮、指示灯的颜色应符合GB2682的规定。4.2.5设备配用的外购件，都应符合相应的产品标准的规定，并应具有质A合格证。4.3外观要求4.3.1开关、仪表及铭牌等面板上的零部件应布置合理、方便操作。4.3.2油漆涂覆的零部件的涂层应符合SJ2573的要求。4.3.3电镀及化学徐覆的零部件表面应光滑细致、无斑点、锈蚀、

8、起泡、脱层、烧结等缺陷。其质量应符合SJ1276的规定。4.3.4各种管道的涂色应符合SJ1635的规定。4.4安全要求4.4.1设备应设有水流报替装置。4.4.2设备应有防止触电的保护设施，其设施应符合GB3797-83中3.9.1的规定。4.4