JBT6922-2004真空蒸发镀膜设备.pdf

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1、ICS23.160J78.!rICi中华人民共和国机械行业标准JB/T6922-2004代替JB/I'6922-1993真空蒸发镀膜设备Vacuumevaporationcoatingplant2004-10-20发布2005-04-01实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布JB/T6922-2004目次前言，.-⋯⋯，，..............⋯⋯‘二，....一‘⋯‘..⋯，...............一1范围⋯⋯，-一‘....⋯⋯‘..⋯，，，.二‘.......⋯⋯‘.价二‘.价一.一.一...一⋯2规范性引用文件......⋯⋯

2、，二‘，.，.⋯，二价二，········，······价··一·一··一···一··⋯3型式与基本参数.⋯⋯，，⋯⋯，.二‘..⋯，...⋯⋯，.......·······，·.············⋯⋯3.1结构形式..一‘.-.....⋯，..........-.⋯，二，二，.......··‘··············.⋯3.2基本参数.⋯⋯，................⋯⋯，.......⋯⋯，..二，..··········.·.······.·.··‘·⋯⋯，3.3型号，.-.⋯‘....-一‘⋯⋯，⋯‘⋯，...⋯，，-⋯⋯，

3、.，，.‘.⋯，.-...一t.-...价..-.⋯一，4技术要求⋯⋯，.‘.-............-.-......-..............-..⋯，..‘.......-......一..⋯⋯﹄气4.1工作环境条件....⋯⋯t..⋯价⋯，.⋯⋯，，-...⋯⋯，.···········.············‘·一一﹃4.2结构要求.............-.......-.....⋯，.-.一‘.⋯，-........⋯，..一t.....‘.......一..一一你‘4.3制造要求....-...-...........-..

4、....-.-..-⋯⋯，，......--.......-..-...............一，..气、4.4安全防护要求......................一‘⋯⋯，.............一，.·.·...............····‘二月5试验方法..-.............-⋯，.-..二‘..⋯，.，，-.-..................-........一t.......⋯⋯月5.1极限压力测量...⋯⋯，..-............⋯⋯，....⋯⋯，...................⋯翩5.2抽气时间

5、测量.......⋯⋯，一，一‘.....-........4·.·····，···········..···⋯⋯翩5.3升压率的测量.‘..⋯⋯，-⋯⋯，...⋯⋯，......-........-...........⋯一5.4电阻蒸发源通电试验二，..⋯⋯，.-...⋯⋯，，一‘价.-......-.-...........⋯5.5电子束蒸发源通电试验.........⋯⋯，⋯⋯，.-......-....⋯⋯‘.t.一.⋯⋯.45.6镀膜室工件烘烤装置有效加热区均匀度的测量........⋯，..⋯‘..⋯t..t.‘.t.....‘.⋯_4

6、‘伟6检验规则.⋯⋯‘.-.-.......一，..........⋯⋯，.....................·..······一.一气7标志、包装、运输、贮存一，，-.-............-.⋯⋯，........-...........-...-.........一亡、7.1标志.............⋯⋯，.-...........-........-.⋯⋯‘.............................⋯⋯气7.2包装，....-.-...........⋯⋯，-..-..........-..........-..

7、.......-..-.............⋯⋯气7.3运输.......-.-..-⋯⋯‘⋯，-..-.........-⋯⋯，....-........-......................二气7.4贮存.........-.....-⋯⋯‘......-............-....⋯⋯，......-⋯⋯，........................二WT6922-200491胃本标准是对JB/T6922一1993《真空蒸发镀膜设备》的修订本标准与JB/T6922-1993相比，主要变化如下:—增加了原标准的“4.1工作环

8、境条件”的内容;一~增加了4.3.6,4.3.7,4.4.12等条款;—纠正了某些错误概念，如将原标准的:“