JC226-81-QSG3透明石英玻璃钳锅.pdf

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1、中华人民共和国建筑材料工业部飞厂十一十一十一十一十一十一十一十一十子+.斗部标准牛.十牛JC226一811十+QSG3透明石英玻璃柑锅、_、_+_十_十，十_、_、夕本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃柑竭。本增祸采用天然石英熔制成坯体，并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层一、技术要求1.物理、化学性能指标(1)化学成分a内涂层化学成分铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锤十三个杂质元素的总含量不得大于。.001000其中:铝(5X10-4%;铜簇0.1X10-,%;铁簇0.5X10-4

2、%;硼提0.1X10-4;钾(1X10-,%;钠成1X10-4%0b.堵涡坯体化学成分铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锉十三个杂质元素的总含量不得大于。.Ol0oo其中:铝镇60X10-4%;铜簇0.1X10-400;铁蕊5X10-月%;硼镇0.3X10-4写;钾(4X10-4%;钠镇4X10-4%0(2)热稳定性试样在1100C至20'C温度急变下试验三次，不产生裂纹。(3)抗结晶性试样在1200'C温度下恒温半小时，不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0.5-3毫米的析晶白点，每100平方厘米

3、不得超过10个。(4)涂层厚度应均匀，折合重量应符合表1规定。表1外径D涂层重t外径D涂层重t毫米克毫米克80}1064.59011145.5100}1307.02.外观指标(1)柑锅坯体部分(见表2).中华人民共和国建筑材料工业部发布1981年3月1日实施建筑材料科学研究院提出碗筑材料科学研究院起草JC226一81表2项目气直径弧度部分0.3-0.4毫米直线部分0.3-0.7泡允许数且(个/厘米2)(6暗长径弧度部分1-4毫米直线部分2^-4疤允许数量(条/100厘米z)蕊4色丝状长径(毫米)0.2^-1.5点

4、状直径(毫米)0.2-0.8斑允许数量(个/100厘米x1簇4透明顺粒允许数量(个/100厘米z1簇30波波(毫米)簇0.3注:①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。②非圆形缺陷的直径均按算术平均值计(2)柑祸口部不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。(3)柑塌内表面不允许有色斑沾污和析晶。(4)增祸内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颖粒(直径在0.5^0.7毫米)为10个。二、形状与规格尺寸3.半导体用透明石英玻璃增纲的形状与规格尺寸应符合下图及表3规定。单位:毫米表3外径高度底部半径厚度范围同一横截面

5、厚度公差DHRD-180_0:s60士22.0士0.50.32D-190-批70士22.0士0.50.32D-2100=丫空80士32.3士0.50.32D-2106Z了宁90士32.3士0.50.32D-2114+丫175士32.3士0.50.32D-2130,丫1110士32.5士0.50.42494JC226一81三、试验方法4.化学成分按JC186-81((石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进行5.热稳定性按JC187-73((石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。6.抗结晶性按JC1

6、88-73((石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。7.气泡按JC190-81((透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。