JC179-81-QSG1、QSG2透明石英玻璃钳锅.pdf

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1、中华人民共和国建筑材料工业部气·十一卜‘月卜一呻.叫卜，叫卜一卜·rt十++部标准-十JC179一81t+..+1+代替1C179-73+材又QSG1.QSG2透明石英玻璃增塌州卜一叫卜向叫卜‘.辛·叫卜闷~卜，分卜.小.本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英玻璃柑坍。半导体用透明石英玻璃增坍有QSG1高纯透明石英玻瑞增坍与QSG2透明石英玻瑞增飒两种。、技术要求1.物理、化学性能指标(1)化学成分a.QSG1高纯透明石英玻璃琳涡铝、钙、镁、铁、铜、铁、钻、镍、锰、翻、钾、钠、锉十三个杂质元素的总含1t不得大于0-001%.其中:

2、铝簇5X10-4写;铜成0.1X10-`写;铁(0.5X10-,%;翻簇0.1X10-1%;钾簇1X10-`%;钠成1X10-`写。b.QSG2透明石英玻璃琳端铝、钙、镁、钦、铜、铁、钻、镍、锰、翻、钾、钠、锉十三个杂质元素的总含f不得大于。.Ol0ao其中:铝续60X10-,%;铜

3、出现直径大于0.5毫米的析晶白点;对于透明石英玻瑞柑飒不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0.5~3毫米的析晶白点，每100平方厘米不得超过10个。2.外观指标(1)两种增竭均按外观指标分为二级(见表1).中华人民共和国建筑材料工业部发布1981年3月1日实施建筑材料科学研究院提出趁筑材料科学研究院起草do179一81表1外观指标项目一级二级气直径弧度部分0.1-0.20.3-0.4毫米直线部分0.1-0.30.30.7泡允许数t(个/厘米，)<3<6丝状长径(毫米)0.5-3.01.0-7.0气泡点状直径(毫米)0.3-2.00.5

4、^3.0群允许总数(个/100厘米z1《5<8暗长径弧度部分1-21-4奄米直线部分1--32^-4疤允许数t(条/100厘米z1<2(4丝状长径(毫米)0.1^-1.00.2-1.5色点状直径(毫米)0.1-0.30.2-0.5斑允许总数(个/10厘米艺)<2<4揪痕直径(毫米)不允许簇13揪揪痕深度(奄米)不允许<0.3揪疲D100奄米以下增炯<2痕不允许数tD101^-130庵米柑用<3透明顺枚允许1k=(个/100厘米z1簇10簇30波纹(奄米)<0.2<0.3枯皮不允许按标样云多不允许不允许注:①缺陷宽度小于点状下限的按丝状

5、计②非圆形块陷的直径按算术平均值计。(2)柑塌口部应细磨(内外倒角)或烧圆。不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。(3)柑锅表面光滑整洁，内表面不允许有色斑。(4)不允许有沾污和析晶。二、形状与规格尺寸3.半导体用透明石英玻璃增竭的形状与规格尺寸应符合下图及表z的规定。472Jc179一81单位:毫米表2外径高度底半径厚度范围同一横截面的厚度公差DHRD-1801160-;2.0^2.80.32D-190-8:e70-2.0-2.80.32刀一2100-跳80-;2.0-2.8032刀一1106=枕90-2.0-2.80.32

6、D-1114=0,:急75士22.0^-2.80.32D-1130绍复110士22.0-2.80.42注;D130奄米以上柑坍按协议。三、试脸方法4.化学成分按JC186-81《石英玻璃原料及制品中徽量杂质元索的分析方法》中的规定进行。5.热稳定性按IC187-73《石英玻瑞热稳定性检验方法》中的规定进行。6，抗结晶性按JC188-73《石英玻瑞抗结晶性检脸方法》中的规定进行。7.气泡按JC190-81《透明石英玻确气泡、气线检验方法》中的规定进行。473