JCT179-2011-透明石英玻璃坩埚.pdf

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1、ICS81．040．30Q35备案号：34411--2012】C中华人民共和国建材行业标准JC／T179—2011代替JC／T179一1981．5C／T226—19812011-12-20发布透明石英玻璃坩埚Transparentquartzcrucibles2012-07-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布刖日JC，r179—-20”本标准按照GB／T1．1—2009给出的规则起草。本标准代替JC／T179—198l((QSGl、QSG2透明石英玻璃坩埚》和JC／T226—1981((QSG3透

2、明石英玻璃坩埚》。与JC／T179一1981和JC／T226--1981相比，除编辑性修改外主要技术变化如下：——本标准将JC／T179一1981和JC／T226—1981进行合并i——增加了术语和定义(见第3章)；——增加了产品分类(见第4章)；——修改了对QSGl、QSG2、QSG3石英坩埚十三种杂质元素总含量的要求(见5．3．1，1981年版的第1章)；一一增加了检验规则(见第7章)；一一增加了对标志、包装、运输和贮存的要求(见第8章)。本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业玻璃和特种玻

3、璃标准化技术委员会(SAC／TC447)归口。本标准主要起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院。本标准主要起草人：张浩运、吴洁、杨学东、郑丽英。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：——JC／T179—1973、JC／T179—1981；——JC／T226～1981。1范围透明石英玻璃坩埚JoT179—-20”本标准规定了QSGl、QSG2和QSG3三种透明石英玻璃坩埚的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体工业生产单晶硅用的透

4、明石英玻璃坩埚。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB／T3284石英玻璃化学成分分析方法GB／T5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法GB／T10701石英玻璃热稳定性试验方法JC／T1048--2007单晶硅生长用石英坩埚3术语和定义JC／T1048界定的术语和定义适用于本文件。4分类透明石英玻璃坩埚分为三类：——QsGl高纯透明石英玻璃坩埚；一一qsG2透明石

5、英玻璃坩埚；——QSG3内涂层高纯透明石英玻璃坩埚。5技术要求5．1规格尺寸5．1．1QSGl、QSG2透明石英玻璃坩埚的形状和规格尺寸及偏差符合图1及表l的规定。JC，r仃9—．2011说明：r一厚度；D一外径：肝—一底半径^——高度。图1透明石英玻璃坩埚表1QSGl、QSG2透明石英玻璃坩埚规格尺寸及偏差单位为毫米外径高度底半径厚度范围同一横截面的厚度公差DhRD—l80鬟60：：20～280．3D一190：监70：j2．0～2．803D一2loo：7：80：i2．0～28o．3D一1106_：：9

6、0：f2．0～2．8’0．3D—l114冀75±22．O～2．80．3D—l130篡110±22．0～2．80．4注：外径D>130IUIII的坩埚的规格尺寸及偏差由供需双方商定。5．1．2QSG3内涂层高纯透明石英玻璃坩埚的形状和规格尺寸及偏差符合图1及表2的规定。2JC，r179—t01表2QSG3内涂居高纯透明石英玻璃坩埚规格尺寸及偏差单位为鼍米JC，r179—2011表3(续)外观指标项目一级二级透明颗粒允许数量／(个／100cⅢ2)≤10≤30波纹／mm≤0．2≤03桔皮不允许按标样云雾不允许

7、坩埚口部应细磨(内外倒角)或烧圆。不得有缺口，不得有深、宽大于4mm的表皮崩落。坩埚表面光滑整洁，内表面不允许有色斑。不允许有沾污和析晶。注1：缺陷宽度小于点状下限的按丝状计算。注2：非圆形缺陷的直径按算术平均值计算。5．2．2QSG3坩埚坯体部分外观质量应符合表4的规定。表4QSG3坩埚坯体部分外观质量项目外观指标弧度部分0．3～0．4直径／m气泡直线部分03～07允许数量／(个／era2)≤6弧度部分l～4长径／mm暗疤直线部分2～4允许数量／(条／100crab≤4丝状长径／m0．2～1．5色斑点

8、状直径／mm0．2～0．8允许总数／(个／100cm2)≤4透明颗粒允许数量／(个／iooCIIl2)≤30波纹／mm≤0．3坩埚口部不得有缺口，不得有深、宽大于4咖的表皮崩落。。坩埚内表面不允许有色斑、沾污和析晶。坩埚内表面涂层上每100cm2中允许透明颗粒为(直径在0．5咖～0．7姗)i0个。注1：缺陷宽度小于点状下限的按丝状计算。注2：非圆形缺陷的直径按算术平均值计算。5．3物理化学性能5．3．1杂质元素含量5．3．1．1QSGl高纯