[建筑规范]QSG3透明石英玻璃坩埚

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1、筑神-建筑下载:http://www.zhushen.com.cnQSG3透明石英玻璃坩埚本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃坩埚。本坩埚采用天然石英熔制成坯体，并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层。一、技术要求1．物理、化学性能指标（1）化学成分a．内涂层化学成分铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻，镍、锰、硼、钾、钠、理十三个杂质元素的总含量不得大于0．001％。其中：铝≤5×l0[-4]％；铜≤0．l×l0[-4]％；铁≤0．5×l0[-4]％；硼≤0．1×l0[-4]％；钾≤1×l0[-4]％；钠≤1×10[-4]

2、％。b．坩埚坯体化学成分铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得大于0．01％。其中：铝≤60×10[-4]％；铜≤0．1×l0[-4]％；铁≤5×l0[-4]％；硼≤0．3×l0[-4]％；钾≤4×l0[-4]％；钠≤4×l0[-4]％。（2）热稳定性试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次，不产生裂纹。（3）抗结晶性筑神-建筑下载:http://www.zhushen.com.cn试样在1200℃温度下恒温半小时，不允许出现直径大于3毫米的析晶白点，0．5～3毫米的析晶白点，每100平

3、方厘米不得超过10个。（4）涂层厚度应均匀，折合重量应符合表1规定。表1外径D涂层重量外径D涂层重量毫米克毫米克803.01064.5903.51145.51004.01307.02．外观指标(1)坩埚坯体部分（见表２）。项目直径弧度部分0.3－0.4气泡毫米直线部分0.3－0.7允许数量（个/厘米[2]）≤6长径弧度部分1－4暗疤毫米直线部分2－4允许数量（条/100厘米[2]）≤4丝状长径（毫米）0.2－1.5点状直径（毫米）0.2－0.8色斑允许总数（个/100厘米[2]）≤4透明颗粒允许数量（个/100厘≤30米2）波

4、纹（毫米）≤0.3注：①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。②非圆形缺陷的直径均按算术平均值计。(2)坩埚口部不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。(3)坩埚内表面不允许有色斑沾污和析晶。筑神-建筑下载:http://www.zhushen.com.cn(4)坩埚内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颗粒（直径在0.5－0.7毫米）为10个。二、形状与规格尺寸3．半导体用透明石英玻璃坩埚的形状与规格尺寸应符合下图及表３规定。表３同一横截面外径高度底半径厚度范围的厚度公差DHR80+0.660±2D-12.0±0.50.3-

5、0.9───290+0.670±2D-22.0±0.50.3-0.9───2100+0.680±3D-22.3±0.50.3-1.1───2106+0.690±3D-22.3±0.50.3-1.1───2114+0.675±3D-22.3±0.50.3-1.1───2130+0.6110±3D-22.5±0.50.4-1.6───2三、试验方法4．化学成分按JC1866－81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进行。5．热稳定性筑神-建筑下载:http://www.zhushen.com.cn按JC187－7

6、3《石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。6．抗结晶性按JC188－73《石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。7．气泡按JC190－81《透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。