新型硅基集成光子器件地研究论文

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1、摘要不断呈现的各种业务需求、飞速发展的光通信技术以及逐步拓宽的应用领域大大促进了集成光子器件的研究与发展。为构建大容量、高速率的光通信网络，时下的光开关和光路由等交换系统正面临着巨大挑战。不仅如此，集成光学器件还快速拓展于能源、环境、医疗、生物、传感等领域。集成光电子器件的设计正朝着简易化(Simpler)、智能化(Smarter)、小型化(Smaller)、高速化(Swifter)、节约化(Savingenergyandcost)的“5S”方向迈进。近年来，SOI基有源和无源器件的研究齐头并进，成为光电子领域最热门的方向之一。在

2、揭开电子瓶颈之前，硅光子器件仍面临很多基本问题。比如，如何有效回避或利用光子波导中的偏振问题；如何实现超紧凑、低串扰、宽带宽的光开关器件；能否用硅基光子波导构建具有类似于电子器件的逻辑功能单元；怎样解决好硅与各种材料的混合集成问题等等。基于上述思想，本论文的目的在于：以光波导自映像原理为基础，探索功能新颖、工艺简单、控制方便、性能优良的光电子器件，并以SOI基CMOS兼客工艺为基础进行原理性试验。本文具创新性意义的工作主要集中于以下四个方面：l、对光波导的白映像原理进行了引伸和拓展。从光偏振的角度对自映像原理进行了推广，设计了一种

3、新型的模式转换器；利用模式传输方法对平板波导和二维空间波导中的多模干涉进行了阐述和分析；论述了有限波导阵列中的自映像效应，分析了次近邻波导间的耦合对该效应的影响；讨论了无限波导阵列的传输特性与输入场之间的联系；提出了利用分离变量法和微扰法联合分析空间波导系统的解析模型，据此设计了粗波分复用器件．2、以自映像理论为基础，提出了多种结构紧凑、功能新颖、控削简便的集成光学器件．以3x3MMI耦合器为基本结构，提出的多种器件，包括控制简单的、超紧凑l×3光开关；23bit的光学逻辑编码器；易于重组的波导型六端光环路器；利用光开关的各输出状

4、态下所需相位调制量间的倍数关系，系统论证了可以简化外控电极及驱动方案的lxN的多值MMI开关；理论性的研究了基于多模干涉波导的空间逻辑编码器的驱动方案。3、兼用CMOS生产线和本实验室的硅基工艺条件，系统设计，原理性论证了所提器件的基本结构．以p．f．玎载流子注入结构进行波导相位调制，采用o．8pmCMOS工艺线制作的调制器消光比达20dB；l×2光开关和2x2光开关的串扰分别可以达到18dB和17dB；器件速度达到几十ns量级。通过对实验传输曲线的拟合分析，讨论了硅载流子色散效应的伴随损耗对MZI型光开关串扰的影响。在本实验室条

5、件下，攻克ii{浙江大学博士学位论文了等离子体干法刻蚀工艺，对刻蚀条件进行了优化；并摸索了一系列硅基热光器件的基础工艺。4、基于对Ce：YIG／Si／SOI非互易波导的数值分析，构思了多种硅基非互易器件．用微扰法比较分析了Ce：YIG／Si／SOI波导在增强非互易效应方面的优势；推导了磁光波导的三维全矢量BPM模拟的计算公式，并基于有限差分方法进行编程计算。将非互易相移引入到微谐振结构，达到了非互易器件小型化和功能化的目的。并且，利用耦合谐振环的MZI结构高带宽利用率等优点，提出了高隔离度的波导型双向多波长交错隔离器。本文的研究工

6、作在数值计算、器件设计及工艺制作等多方面展开，所涉及研究课题和项目较多，在后续工作中将继续对所构思的各种器件进行充分的试验验证。作者在研究中以5s为设计思想，提出了多种具新功能、新特性的集成光子器件，期待在未来的光子集成回路中获得广泛应用。关键词：集成光电子；硅基光子学；多模干涉；微谐振环；光开关；逻辑编码器件；非互易器件；空间集成；载流子色散效应：有限差分AbstractContinuously-emergedservicerequirementofhumanbeing，well—developedopticalcommunic

7、ationtechniquesandgradually—discoveredapplicationfieldsgreatlyboosttheresearchanddevelopmentofintegratedphotonicdevices．Opticalswitchingorroutingsystemsareconfrontedwithbigchallengesbythelarge·-capacityandhigh·—bitrateopticalcommunicationnetworks．Moreover，integratedop

8、ticaldevicesgainedwide—spreadapplicationinindustry，military，energy，medicine，sensor，ete．Totailortheneedsindifferentapplicatio