tio-%2c2-单层膜及tio-%2c2-%2fsno-%2c2-：f复合膜dbd-cvd制备及性能的研究

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1、浙江大学硕上学位论文摘要本论文介绍了Ti02薄膜光催化和亲水性的研究背景及其原理，比较了各种Ti02薄膜的制备技术和方法，并对其光催化和亲水性的影响因素进行了总结。提出以介质阻挡放电化学气相沉积法(DBD．CVD)制备Ti02单层薄膜和n02／sn02：F复合薄膜的实验目标。以TTIP(四异丙醇钛)为先驱体，采用介质阻挡放电化学气相沉积法(DBD—CVD)，在普通玻片上制备得到具有一定光催化性和亲水性的Ti02单层薄膜，著且以此为基础，初步在Low—E玻璃(sn02：F薄膜)上镀Ti02薄膜，在一定程度上实现了低辐射和自清洁功能的复合。文章系统研究了沉积温度、沉积电压等工

2、艺参数对普通玻片上沉积的Ti02单层薄膜的形貌结构、透过率、光催化和亲水性能的影响。DBD．CvD法在较低的沉积温度下制备出的Ti02薄膜是非晶态的，光催化效率比较低，亲水性比较差。随着沉积温度的升高，出现锐钛矿相，薄膜表面开始变得比较均匀平整致密，光催化和亲水性能逐渐提高。沉积电压比较低时，薄膜是非晶态，表面粗糙度比较大，光催化和亲水性都比较差。随着沉积电压的增大，薄膜的厚度增加，薄膜表面开始变得比较均匀平整致密，粗糙度变小，结晶性能提高，吸收边有红移趋势，亲水性也随之改善，但光催化性能在100V时最好。在Low—E玻璃上制备的反应时间系列的Ti02／sn02：F的复合

3、薄膜，当反应时间比较短时，薄膜中的Ti02处于非晶状态，当反应时间为1h时，薄膜表面开始变得相对致密，出现Ti02的锐钛矿相。当反应时间达到2h时，薄膜中出现了微弱的Ti60一一相。随着反应时间的增长，膜厚增加，可见光波段的透过率逐渐下降，薄膜的吸收边随着膜厚的增加向长波长移动。薄膜的光学带隙逐渐减小，光催化活性和亲水性随着反应时间的增长先增加，后减小，在0．5h时达到最好。通过理论计算和实际测试，均发现随着反应时间的增大，薄膜的方块电阻增大，中远红外反射率减小，并对复合薄膜的电学性能的产生机理进行了理论分析。关键词：DBD—cVD、Ti02薄膜、自清洁、光催化、亲水性浙

4、江大学硕士学位论文ABSTRACTIntllispaperacomprehensiVeintroductionoftitalljumnlm，whichwasfocused0nphotocatalysis肌dhydrop王lilic咄hadbeengiven．neresearchbackground，theoriesaIldsomekindsofpreparationmemodswerediscussed，andasummaryaboutthefactorswMcha脏ctthephotocatalysise街ciencyaIldhydrophilic姆waSmade．Th

5、ep印erputforwarda11aimtodeposittitani啪fiImsa11dTi02／Sn02：Fmultiplefilmspreparedbymemethodofdielec埘cbarrierdischargeatmosphericpressurechemicalvapordeposition(DBD—CVD)．UsingTTIPastheprecursor，titaniumfilmshadbeendepositedbyDBD—CVDmethodonsIidesubstra'ces，whichhadgoodphotocatalysisandhydropi

6、licity．Baseonthis，titanjumf11msweredepositedonLow—Eglasspreliminarily，andthemultipJicityofthefunctionsofLo、v．Emissiona11dself-cleaningwasreaIizedatsomeextent．ThispapersystematicallyaIlalyzedmerelationsbetweent11epreparingparameterssuchasdepositiontempemturea11ddepositionVoltagea11dthesurf

7、aceandstmcture、tmnsminance、photocata上ysis、hydrophilicityoftitani眦fihnsdepositedonslidesubstrates．TitaIliumfnmspreparedbyDBD—CVDwereamorphouswhenthed印ositiontemperaturewaslo、v，photocatalysise蚯ciencyaIldhydrophilicitybecamelowaswelI．Whendepositiontemperamreincreased，a