双工件台安全辅助系统的设计与分析

《双工件台安全辅助系统的设计与分析》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、哈尔滨工业大学工学硕士学位论文Keywords:TheLithographicProjectionApparatus,SafetyProtectionSystem,Rigid-FlexibleCoupling,SlidingModeControl-III-哈尔滨工业大学工学硕士学位论文目录摘要.............................................................................................................IAbstract.......................

2、...................................................................................II第1章绪论...................................................................................................11.1课题来源...........................................................................................

3、...11.2工件台系统..........................................................................................21.3工件台安全辅助系统..........................................................................41.3.1工件台安全保护系统...................................................................41.3.2线缆台系统......

4、.............................................................................51.4刚柔体耦合动力学..............................................................................51.5刚柔体耦合系统建模方法..................................................................51.6滑模变结构控制法............................

5、..................................................61.7本文研究的主要内容..........................................................................7第2章工件台安全保护系统的设计...........................................................92.1工件台换台步骤.................................................................

6、.................92.2工件台系统错误模式及措施............................................................112.3安全措施的实现................................................................................132.3.1防止机械损坏的实施措施.........................................................132.3.2安全保护系统的设计............

7、.....................................................152.3.3硬件电子设计.............................................................................212.4本章小结............................................................................................22第3章工件台安全保护板的硬件实现与逻辑算法.....