半导体行业机械手臂研究报告转

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1、機械手臂於電子產業和半導體產業的新應用電子零組件和半導體產業和自動化生產二者關係緊密，相互影響，當電子零組件愈往小尺寸發展，且對無污染的要求愈來愈高時，更需仰賴自動化生產以達到此要求。為因應電子零組件和半導體產品往小尺寸發展趨勢，自動化機械設備也朝小尺寸和多功能的方向發展。北美洲DENSORobotics(電綜公司)自動化機械銷售經理PeterCavallo表示，「速度和準確性是進行電子測試的關鍵，隨著電了零組件尺寸規格愈來愈小，自動化機械設備也需要能夠準確地在其進行工作」。[多軸機械手臂的崛起(ChangingtoDelta)]為符合電子零組件和半導體產業對於速

2、度和準確性的要求，系統整合商建議終端使用者增加對多軸機械手臂(DeltaRobot)的投資。ProgressiveMachineandDesign銷售經理GarrySpenick表示，「高速機械手臂常用於最終生產線的異型裝配，而多軸機械手臂因具備高速之優勢，故冇取代水平多關節機械手臂(SCARARobot)的趨勢」。FANUC(發那科)美國分公司銷售經理ChristopherBlanchette也看好多軸機械手臂未來應用於電子和半導體產業的發展潛力，並認為高速的多軸機械手臂特別適用於這兩種產業。Blanchette並補充說明，「電子設備組裝廠講求速度、整潔和準確性

3、，六軸機械手臂可將零組件重新定位並將其放置正確位置；而多軸機械手臂所具備的高速優勢，將有助於其於電子和半導體產業的發展」。雖說多軸機械手臂未來前景看好，但並不表示其他型式或種類的機械手臂將從電子產業或半導體產業內消失。SCARARobot曾經被認為是唯一可用於電子零組件組裝的自動化設備'隨著垂直關節型多軸機械手臂(articulatedrobotaim)的發展，未來的在半導體和電子製造業的應用潛力相當被看好。ABB美國分公司產品支援經理NicholasHunt說明，「垂直關節型多軸機械手臂的速度已接近SCARARobot，但具備更多彈性及易操作的特性，特別在離線程

4、式的環境使用。雖說垂直關節型多軸機械手臂並不會完全取代SCARARobot，但讓兩台垂直關節型多軸機械手臂同時進行一項工作時，相當於一台SCARARobot的工作表現」。PreciseAutomation首席執行長BrianCarlisle則說，「在生產電子零組件時，小型桌上型SCARARobot可應用於垂直和水平的搬移。雖說水平搬移通常是由SCARARobot進行，但假設在手機製程中，需要將零組件從垂直狀態平移到測試機台時，小型的垂直關節型多軸機械手臂即可執行此動作並且將零組件旋轉至水平狀態放置」。Carlisle另外補充，「因為SCARARobot設計簡單且對

5、產品不會造成污染，故常用於半導體組裝。當SCARARobot被固定於品下方時，空氣會於其下方流通，所以任何產生的塵埃顆粒都會被空氣帶走，不會對晶圓表面造成刮傷」。Stubli位於美國南加外的營運經理DavidArceneaux聲稱Stubli(史陶比爾)已注意到靈巧及精準的六軸機械手臂於電子和半導體產業的發展應用潛力，並預估未來的五年，六軸機械手臂將廣泛應用於真空工作環境，生產例如冇機發光二極體(OrganicLightEmittingDiode，OLED)等產品。【精巧但功能強大(SmallPower)】隨著自動化機械手臂應用於生產愈來愈小的產品，機械手臂內的電

6、了零組件規格也必須跟著調整。位於美國加州的AdeptTechnology全球銷售和行銷總裁RushLaSelle說明「衽不久之前，機械手臂的控制器尺寸和一個小型冰箱差不多，但現在的控制器已改良為較小型，並將其整合至機械手臂底部以將工廠廠房地板進行更有效的使用。而舉凡降低處理器價格、使用小型電路板、和增加速度及可靠性等特質，都是機械手臂和消費性電子產品所共同具有的特質」。ABB公司產品支援經理Hunt表示，「規格對於電了業工作環境是相當重要的考量因素，因此ABB已發表一台和桌上型電腦尺寸大小相同的小型控制器；因為電子零組件的組裝廠往往比汽車產業的工作環境小上許多，所

7、以其機械手臂和其控制器自然是愈小愈好。」另外，Hunt也強調降低機械手臂整體重量將有助於電子零組件組裝時，更迅速地移動；而速度對於機械手臂而言，除愈快愈好之外，準確性也需相對提升。FANUC經理Blanchette贊同Hunt的觀點，並強調「小型和馬力大的馬達能夠更快速移動，並加速效能。應用於電子產業時，機械手臂主要進行高速但短暫的移動，所以機械手臂的重量對於加速和減速十分重要。而利用塑膠、鋁和碳纖維等先進材料皆能降低機械手臂的重量。」Ethernet（乙太網路）功能在半導體和電子產業工作流程的重要性與日俱增。來自ProgressiveMachine&Design

8、公司的Ga