微电子互连材料研究部

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1、为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划微电子互连材料研究部　　微电子材料概述　　[摘要]微电子材料的应用与影响在我们的日常生活中随处可见。近年来微电子材料更是几乎已成为所有电子产品的心脏。在本文里，将简要地叙述微电子材料的发展历史和现状、实际应用、发展趋势和展望，增进对微电子材料的了解。　　[关键词]晶体管集成电路微电子工业微电子材料硅晶　　综观人类社会发展的文明史，一切生产方式和生活方式的重大变革都是由于　　新的科学发现和新技术的产生而引发的，科学技术作为革命的力量，推动着人类社会向前发展。从50多年前晶体管的发明到目

2、前微电子技术成为整个信息社会的基础和核心的发展历史充分证明了“科学技术是第一生产力”。目前科技的飞速进展与集成电路的发展应用有着密不可分的关系。十九世纪工业革命主要以机器节省人力，二十世纪的工业革命则以电脑为人脑分劳。而电脑的发展归于集成电路工业微小化的趋势，使电子产品得以“轻、薄、短、小”，故集成电路又称微电子工业。　　1、微电子工业的发展历史和现状目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　19

3、世纪末20世纪初的物理学革命，为微电子技术的产生奠定了理论基础。半导体三个重要物理效应——光电导效应、光生伏特效应、整流效应的发现，量子力学的建立和材料物理的发展，都起到了理论推动作用。1946年1月，Bell实验室正式成立了半导体研究小组，成员为肖克莱、理论物理学家巴丁、实验物理学家布拉顿。在系统的研究过程中，巴丁提出了表面态理论，肖克莱给出了实现放大器的场效应基本设想，巴丁设计进行了无数次实验，于1947年12月观察到了该晶体管结构的放大特效，标志着世界上第一个点接触型晶体管的诞生。差不多在同时数字计算器的发展提供了集成电路的庞大潜在市场。新器件的出现与应用的配合，造就了晶体管与计算机工业

4、的爆炸性成长。同时因为计算机、太空卫星、飞弹电子系统“轻、薄、短、小”的需求刺激了集成电路的发展。目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　到了1952年，肖克莱又与斯帕克斯、迪尔一起发明了单晶锗NPN结型晶体管。1952年5月，英国科学家达默第一次提出了集成电路的构想。1958年，以德克萨斯仪器公司的科学家基尔比为首的研究小组研制出世界上第一块集成电路。自此以后，集成电路技术更一日千里。演变至今

5、，各电路器件基本尺寸不断缩小，工作速度加快，耐用性增加，而价格大为减低。估计过去三十年中，电子器件基组使用量每年增加一倍，亦即每年增加数量为该年以前所有生产及使用期间数量总和。同期间，每执行一个工作指令的器件单元价格，却以每年百分之二十到三十的幅度降低。这种价格与功能的关系，是工业革命以来所有工业产品从未出现的异常现象。尤其近年来个人电脑的　　发展，不仅使微电子产品自工厂进入办公室及家庭，而且更促成其他各种工业革命性改变。所以有人称二十世纪中叶以后的时代为半导体时代。　　2、微电子材料介绍　　微电子材料主要是大直径硅单晶及片材技术，大直径硅片外延技术，150mmGaAs和100mmInP晶片及

6、其以它们为基的III－V族半导体超晶格、量子阱异质结构材料制备技术，GeSi合金和宽禁带半导体材料等。目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　从1940年代末期晶体管问世以来，电子工业始终以基础材料科学为先导，日新月异，材料科学与工程在电子工业的成长中扮演了极重要的角色。高纯度及几乎无缺陷硅晶的生长，靠“区段纯化”及“柴氏拉伸法”才得已实现，因而促成微电子工业的全面发展。其他各种处理材料的工艺步

7、骤，以及各种物性、结构、成分及缺陷的分析，无一不与材料的工艺及分析息息相关。近年来集成电路晶圆大型化及器件单元微小化的趋向，使产品的良品率不断提高，是促使集成电路价格不升反降的主要原因。但也使工艺步骤日益精细复杂，生成缺陷的机会也增加。各电路器件基组尺寸缩小，缺陷对它的不良影响也相对增加。要维持一定的良品率，对材料科学是莫大的挑战。微电子工业在现代工业中居关键枢纽地位，而居于微电子材料中心地位的硅