电子行业超纯水生产线典型工艺流程.doc

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1、电子行业超纯水生产线典型工艺流程电子行业制备超纯水的工艺大致分成以下几种：1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：●源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→阳床→阴床→混床（单级或双级）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，是比较经济和流行的一种方式，其基本工艺流程为：●源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→反渗透设备→中间水箱→混床（单级或双级）→用水点源水箱→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据

2、水的硬度来选用）→精密过滤器→高压泵→反渗透装置（根据源水水质可设单级或双级）→中间水箱→混合离子交换器（单级或双级）→终端过滤器→产品水箱→用水点B源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→高压泵→反渗透装置（根据源水水质可设单级或双级）→中间水箱→混合离子交换器（单级或双级）→产品水箱→纯水泵→核级树脂→终端过滤器→用水点3、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：●源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬

3、度来选用）→精密过滤器→原水箱→反渗透设备（根据源水水质可设单级或双级）中间水箱→电去离子（EDI）→纯水箱→纯水泵→后置过滤器→用水点 A、源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→高压泵→反渗透装置（根据源水水质可设单级或双级）→中间水箱→EDI→产品水箱→用水点源水（箱）→源水泵→机械过滤器→活性炭过滤器→软水器（根据水的硬度来选用）→精密过滤器→高压泵→反渗透装置（根据源水水质可设单级或双级）→中间水箱→EDI→产品水箱→纯水泵→核级树脂→终端过滤器→用水点实际工作中根据源水水质和出水要求适当取舍或添加，确定工艺！三种制备电子工业用

4、超纯水的工艺比较   目前制备电子工业超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：第一种采用传统的离子交换树脂其优点在于初次投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。第二种采用反渗透+离子交换设备，其特点为初次投资比采用离子交换树脂方式要稍高，但离子再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。是目前比较经济与流行的一种工艺。第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子装置，这是目前制取超纯水最先进，最环保的的工艺，不需要用酸碱进行再生

5、便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初次投资相对以上两种方式过于昂贵。    我们公司生产的电子级超纯水设备特点：设备通常由机械过滤器，活性碳过滤器，钠离子软水器、精密过滤器等构成前期预处理系统、反渗透主机系统、离子交换混床系统或电脱盐系统等构成主要设备系统。水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。电子行业超纯水设备应用范围；半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；超纯材料和超纯化学试剂；实验室和

6、中试车间；汽车、家电表面抛光处理；光电产品；其他高科技精微产品；