太阳能电池pecvd故障解除

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1、实用标准文案1．设备工程师常见故障解决方法一．“BoatnotcorrectonPaddle“（舟在浆上位置不正确）1.在CESAR屏幕上按“return（返回）/enter（确认）”键确定错误信息2.输入“ab”确认程序退出信息3.切换到system（系统）/handling（处理）,将lift（升降机）移到Storage3（储存架3）4.检查boat（舟）是否正确放置在paddle（浆）上，如果没有，用绝热手套将其放置正确。5.在CESAR菜单中选择Service（服务）/TABrecovery（恢复）handling6.设置manual（手动）/boat（舟）/position（位置

2、）/setpoint（设定点）=07.如果boat（舟）不移动，设置manual（手动）/boat（舟）/speed（速度）=1508.如果“BoatnotcorrectonPaddle（舟在浆上位置不正确）”还是不消失，尝试如下操作：１．在CESAR菜单中选择manual（手动）tab/vacuum精彩文档实用标准文案(真空度)/pressure（压力）=minimum（最小值），Gas（气体）/N2NO（氮气阀门）=open(开)，直到”Atmoreached（压力到达）”,关闭N2NO（Gas/N2NO=close）。２．在打开机器大门之前将auto/hand设置成hand３．抓住p

3、addle(j浆)的柄，用手移动paddle（浆）４．设置manual（手动）/boat（舟）/position（位置）/setpoint（设定值）=0５．在CESAR菜单中选择Service（服务）/TABrecovery（恢复）handling（手动）,这时炉门应该自动关闭６．如果没有，选择manual（手动）/boat（舟）/service（服务）/homing（回原点）=start二．“boatalreadyonpaddle”（舟已在浆上）1.在CESAR菜单中选servicetab/InitDevs,由此安装了各种器件，SLS向上。2.保证tubepressure达到并保持在At

4、mosphare3.设置Manual/boat/position/setpoint=04.设置Manual/boat/speed=1505.设置Manual/boat/service/homing=start,则paddle归０，门自动关闭。精彩文档实用标准文案6.按“stop”,再”standby”三．进舟的时候发生错误，paddle不能行至Max.position,通常发生在recipe运行后１至２分钟1.acknowledgealarms2.如果recipe没有自动终止，运行菜单中ExitProc3.service/recovery/handling四，机械臂不能运行１．机械爪中有舟

5、，但不能将舟放置已经＂occupied＂的paddle或storage上，1.1调至systemhandling,查看传感器的响应状态occupied/free精彩文档实用标准文案1.2如果paddle上无舟，但显示＂occupied＂,可以屡次试验光传感器的通断，如果不行，再检查传感器的调节．1.3如果错误发生在将舟退到车上时，可以试着换另一个车．2Handling操作时臂不在middleposition2.1检查机械臂是否可以运动2.2将臂移至middleposition2.3再进行automatic操作3．软件中预设的位置被改变3.1关闭CMI3.2运行程序rescmicfg(C/p

6、rograms/centrotherm/tools)，这将保存以前的位置设置3.3重新打开CMI,并coldstart4．舟浆分离或浆贝炉管卡住，按“Handlingstop”5．浆在炉中时间过长，高温下弯曲下垂，会导致在其在卡住，可用手套将其托起，冷却变直。6．退舟时发生“Boatfailure”，检查舟在浆上的位置是否正确，舟的脚是否碰到炉管，如果舟在浆上的位置正确并且脚没有碰到炉管，使用“Recovery/Handling”。7．原则上不允许手动放舟于storage2和3上，如果手动放置，必须检查storage2和3的状态，如果有舟状态必须为occupied。精彩文档实用标准文案五,

7、关泵,关机和开机1,关泵,如需对硅烷燃烧塔进行改装1.1,对炉管内填气Manual-vacuum-tube-pressure-minimumManual-gas-N2NO-volume-open等到信号Atmoreached出来后，将N2NOcloseManual-vacuum-pump-switch-offManual-T.paddel-all-setpoint-250Manual-gas-N2-volume-0.21