改变全球半导体产业技术路径，没有他就没有今天的台积电！.doc

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1、改变全球半导体产业技术路径,没有他就没有今天的台积电！　　　　他改变了全球半导体产业技术路径，让老大哥英特尔（Intel）及设备商艾斯摩尔（ASML）、尼康（Nikon）等业内巨头，舍弃耗费逾10亿美元和数年的研究心力，跟着他与台积电一起转弯。不但全球半导体制程得以往下推进6到7个世代，约14年时光，台积电也因此跻身一线大厂、主导业界规格。　　他是中研院院士林本坚，台积电前研发副总经理。台积电董事长张忠谋曾称，假如没有林本坚及其团队，「台积电的微影（半导体关键制程之一）不会有今天这规模。」　　退休后在清华大学担任特聘研究讲座教

2、授的林本坚，近日出版他第一本半自传式著作，并与我们一起重温当年他是如何扭转乾坤。　　林本坚在越南出生，至青春期才来台湾求学，说话语调细软，过去部属昵称他「Burn（其英文名）爷爷」。他待人和善，但对所相信的事物和理念，却不轻言退让。一沙一世界、一纳米一宇宙　　时间回溯到2002年，林本坚受邀参加一场国际光电学会技术研讨会，会中他发表这项发现，语惊四座，因为当时的半导体设备商多研发焦点放在如何延续干式机台的生命，并已耗费数十亿美元进行开发。林本坚的理论无疑是在业界投出一颗炸弹，但经过他无数研讨会努力奔走、寻找与设备商合作，最后，

3、台积电在2004年与ASML共同完成开发全球第一台润式微影机台，让业界在震惊之余也刮目相看。　　如今，浸润式显影不但是英特尔（Intel）等半导体龙头、设备商所认定的跨入45纳米制程之后的解决方案，也已正式纳入国际半导体蓝图架构成为主流。　　林本坚曾说，22纳米制程之后多重直接式电子束（E-BeamDirectWrite）将是最佳解决方案，他说航太工程的演进给了他许多灵感，他巧妙地比喻，现在许多设备商投入的EUV设备就像是太空梭一样成本太昂贵，又不适合载客，E-Beam就是向不需要飞行跑道的直升机，可以直接空降在晶圆上，灵巧又

4、符合成本效益。看来“一沙一世界、一纳米一宇宙”这句话用在他身上再洽当也不过了。他的提案，同业主批搅局　　「虽千万人，吾往矣！」林本坚如此形容他2002到04年那改写历史的一役。　　当时状况是这样的：随着半导体制程往下演进，关键制程之一的微影，也得持续缩短光束波长。一直以来，业界习惯以空气为媒介，是「干式」的微影，但此技术却已「撞墙」，在157纳米波长卡关。而当时任职台积电的林本坚却跳脱框架，退回157纳米波长的上一世代，改用水做为介质，发展出「浸润式微影」技术，让光束波长一举缩短至134纳米，突破瓶颈。　　这样的破框思维，起初

5、却是孤独，甚至遭受敌意。　　因其他业者已投入共计逾十亿美元研发经费在干式显影上，接近当时台积电一整年的资本支出。林本坚的理论若被采用，等于宣告其他人前功尽弃。台积电前共同营运长蒋尚义为林本坚写序：「（当年）确实有大公司的高层主管表达严重关切，希望我能管管他（林本坚），不要搅局。」他做事前，会推演到穷尽　　对内，林本坚要让蒋尚义和张忠谋等主管埋单，对外，则要说服业界抛弃原有投入。　　他的秘诀，是「彻底」2字，彻底的思考，并彻底执行。「像下棋一样，要先想好后面好几步，」林本坚说，做事前，推演至穷尽，是他一直以来的习惯，「把所有可能

6、一直想下去，（直到）想不到可能。」　　一位曾和林本坚走过那一役的台积电主管记得，起初反对方常在国际研讨会上与台积电针锋相对，质疑以水做为介质易产生污染，且水中的气泡会影响曝光等等。对外界疑虑有备而来的林本坚，决定更彻底解决，便带着团队在半年内完成三篇论文，投稿到国际期刊，连还未被提出的质疑也一并设想、响应。「原本一个美国大厂的代表说他们绝不用这技术，结果一个（半导体制程）世代后，他们也用了。」　　除了论理，林本坚的沟通也做得彻底，当时他跑遍美国、日本、荷兰与德国等地，一一拜会业界，促使艾斯摩尔与尼康等厂商转向。他说，沟通，是他

7、从张忠谋身上学到重要的一课。　　从他2000年加入台积电以来，张忠谋每一季便固定与三级主管们分两梯次共进午餐，与副总经理们则每月聚会。会中张忠谋与主管们可从公司发展聊到国际政经情势，包括台积电最核心的「诚信正直」、「承诺」等价值，也在其中凝聚，「董事长会鼓励大家问他问题，有时候大家问得好，他就很高兴的回答，什么都不吃了。」　　「想得彻底、做得彻底，是他的习惯，」和林本坚牵手50年的妻子黄修慧举例，他担任教会诗班指挥，许多成员不擅长读五线谱，遇到重复段落的符号，常忘记回头重唱，一般指挥会不断纠正提醒，但林本坚则彻底解决问题，重新

8、誊打歌谱，把重复符号后的谱直接写出来，让所有人能顺利唱下去。他彻底，但遇问题更懂绕道　　不过，林本坚的「彻底」带着巧劲，他认为遇到困难，有时不妨先停下、休息，甚至绕道，再前进，会比只是遵循前人道路，一味的「愚公移山」好。当初他提出浸润式微影，就是绕出业界的惯常道路，迸出灵光。