可怕的台积电，一口气买下5台EUV光刻机.doc

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1、可怕的台积电，一口气买下5台EUV光刻机　　巴隆周刊（Barrons）报导，艾司摩尔（ASML）上周公布上季财报亮眼，并宣布已接到新一代极紫外光（EUV）微影机台六部订单，有分析师推测，台积电可能订走了其中五台，即一口气买下5.5亿美元的设备。　　EUV机台每台价值1.1亿美元。研究半导体设备业者的SummitRedstonePartners分析师耶尔（JagadishIyer）告诉巴隆周刊：“我们相信他们（ASML）处于转折点，除非相信技术已经成熟，没有业者会同时买下每台1.1亿美元的机台。”他认为是一口气订购五台的客户是台积电。　　半导体顾问公司

2、（SA）半导体分析师梅尔（RobertMaire）估计，ASML今年12部EUV机台的产能已满载。耶尔认为，今年半导体设备支出可能超过业界预测的350亿美元，他说，三星电子为夺回台积电的订单，将会设法赶上并争取半导体的生意。　　可怕的台积电，一口气买下5台EUV光刻机　　巴隆周刊（Barrons）报导，艾司摩尔（ASML）上周公布上季财报亮眼，并宣布已接到新一代极紫外光（EUV）微影机台六部订单，有分析师推测，台积电可能订走了其中五台，即一口气买下5.5亿美元的设备。　　EUV机台每台价值1.1亿美元。研究半导体设备业者的SummitRedstone

3、Partners分析师耶尔（JagadishIyer）告诉巴隆周刊：“我们相信他们（ASML）处于转折点，除非相信技术已经成熟，没有业者会同时买下每台1.1亿美元的机台。”他认为是一口气订购五台的客户是台积电。　　半导体顾问公司（SA）半导体分析师梅尔（RobertMaire）估计，ASML今年12部EUV机台的产能已满载。耶尔认为，今年半导体设备支出可能超过业界预测的350亿美元，他说，三星电子为夺回台积电的订单，将会设法赶上并争取半导体的生意。　　　　　　台积电为什么要耗费巨资购买EUV光刻机？　　我们都知道半导体工艺越先进越好，用以衡量工艺进步

4、的就是线宽，常说的xxnm工艺就代表这个，这个数字越小就代表晶体管越小，晶体管密度就越大。现在半导体公司已经进军10nm工艺，但面临的物理限制越来越高，半导体工艺提升需要全新的设备。EUV极紫外光刻机就是制程突破10nm及之后的7nm、5nm工艺的关键。因此台积电对EUV那么捉急。　　　　而在这些工艺上的快读推进，谋求领先，也是台积电那么积极购买EUV的原因之一。　　台积电联系CEO刘德音在2016年的某个会议上公布了TSMC的2020路线图，认为EUV光刻工艺在2020年时能有效降低量产5nm工艺的成本，TSMC计划在5nm节点上应用EUV工艺以提

5、高密度、简化工艺并降低成本。　　目前TSMC公司已经在7nm节点研发上使用了EUV工艺，实现了EUV扫描机、光罩及印刷的工艺集成。TSMC表示目前他们有4台ASML公司的NX:3400光刻机在运行，2017年Q1季度还会再购买2台。　　之前有报道称三星也购买了ASML公司的量产型EUV光刻机，目的是在2017年加速7nm工艺量产。　　EUV是新一代半导体工艺突破的关键，但进展一直比较缓慢，至少比三星、TSMC两家的嘴炮慢得多——早前TSMC宣称在2016年的10nm节点就能用上EUV工艺，之后又说7nm节点量产EUV工艺，但现实情况并没有这么乐观，现

6、在他们的说法也是2020年的5nm节点，跟Intel的预计差不多了。　　TSMC表示他们的10nm工艺已经有三个客户完成流片，虽然没公布客户名称，但用得起10nm工艺的芯片也就是苹果A10、联发科X30（被海思、展讯刺激的联发科在X30上爆发了）以及海思新一代麒麟处理器，流片的估计就是这三家了。　　TSMC表示今年底之前还会有更多客户的10nm芯片流片，该工艺将在2017年Q1季度量产。　　至于7nm，TSMC表示他们已经提前256MbSRAM芯片，进展顺利，CEO表示相信TSMC的7nm工艺在PPA密度、功耗及性能方面要比对手更出色，已经有高性能客

7、户预计在2017年上半年流片，正式量产则是在2018年。　　至于5nm，。台积电表示，在制程基地尘埃落定后，最快今年就可动工，目标则是要在2020年量产，届时将有望甩开三星与英特尔，拼独步全球。　　台积电南科厂目前主力制程为16纳米，后续10纳米及7纳米则是放在中科，而接续的5纳米制程将会由南科厂来担纲。台积电厂务处处长庄子寿表示，5纳米制程为未来2~3年的计画，目前仍在发展中。而关于厂区部分，则是规划占地约40公顷，投资金额上千亿元，待台积电董事会通过后就会启动，最快今年将动工。　　据悉，南科环差案能顺利通过的原因，是因为南科承诺未来将采用每日3.

8、25吨的再生水取代农业用水，包括永康再生水的1.25万吨及日后台积电将投资20亿元自设再生水厂，供应2万吨再