ASML计划在2018年生产20台EUV光刻机.doc

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1、ASML计划在2018年生产20台EUV光刻机　　据业内最新消息，全球最大的芯片机器制造商、荷兰的AMSL证实，中国向荷兰订购一台最新型的使用EUV（极紫外线）技术的芯片制造机器光刻机，订货单位是中芯国际（SMIC）。这也几乎花掉了中芯国际2017年的所有利润，该公司去年的净利润为1.264亿美元。　　不过在大家了解到EUV设备有多重要之后，就知道这笔钱花的有多值了。　　EUV作为现在最先进的光刻机，是唯一能够生产7nm以下制程的设备，因为它发射的光线波长仅为现有设备的十五分之一，能够蚀刻更加精细的半导体电路，所以EUV也被成为“突破摩尔定律的救星”。从2019年

2、半导体芯片进入7nm时代开始（现在我们处于10nm时代），EUV光刻机是绝对的战略性设备，没有它就会寸步难行。　　　　日经亚洲表示，台积电、英特尔和三星等半导体巨头都已经向ASML采购了EUV光刻设备，台积电预定了10套，三星6套，英特尔3套。更可怕的是，ASML是世界上唯一一个能够制造EUV光刻机的厂商，并且产量极低，所有产能早在生产之前就已经被预订一空。据介绍，ASML计划在2018年生产20台EUV光刻机，中芯国际的这一台将会在2019年交付。　　对于中芯国际斥巨资预定EUV设备，日经亚洲表示虽然中芯国际的技术落后三星、台积电两到三代，现在还在28nm和14

3、nm，但是拥有EUV光刻机之后，对于中国自主研发半导体技术是有着重大意义的。　　　　不过也有很多人对这一消息提出了质疑，因为根据瓦森纳协议，ASML等厂商是不被允许向中国销售顶级光刻机的。不过ASML的一位发言人表示，他们并没有违反瓦森纳协议，所有客户都是完全平等的，只要客户下单，EUV要进口到中国完全没有任何问题。