中国EUV购买受限，半导体面临难产.doc

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1、中国EUV购买受限,半导体面临难产　　针对EUV，在国内流传着一种声音，受到西方国家对中国购买紫外光刻机（EUV）的限制，中国将不能购买到高端设备，只会在中低端产品徘徊。这一新闻引起了半导体界的恐慌。没有EUV，中国半导体强国之梦就面临难产。　　国际半导体制造龙头三星、台积电先后宣布将于2018年量产7纳米晶圆制造工艺。这一消息使得业界对半导体制造的关键设备之一极紫外光刻机（EUV）的关注度大幅提升。此后又有媒体宣称，国外政府将对中国购买EUV实施限制，更是吸引了大量公众的目光。以目前中国半导体制造业的发展水平，

2、购买或者开发EUV光刻机是否必要？中国应如何切实推进半导体设备产业的发展？　　中国EUV购买受限,半导体面临难产　　针对EUV，在国内流传着一种声音，受到西方国家对中国购买紫外光刻机（EUV）的限制，中国将不能购买到高端设备，只会在中低端产品徘徊。这一新闻引起了半导体界的恐慌。没有EUV，中国半导体强国之梦就面临难产。　　国际半导体制造龙头三星、台积电先后宣布将于2018年量产7纳米晶圆制造工艺。这一消息使得业界对半导体制造的关键设备之一极紫外光刻机（EUV）的关注度大幅提升。此后又有媒体宣称，国外政府将对中国购

3、买EUV实施限制，更是吸引了大量公众的目光。以目前中国半导体制造业的发展水平，购买或者开发EUV光刻机是否必要？中国应如何切实推进半导体设备产业的发展？　　中国EUV购买受限,半导体面临难产　　针对EUV，在国内流传着一种声音，受到西方国家对中国购买紫外光刻机（EUV）的限制，中国将不能购买到高端设备，只会在中低端产品徘徊。这一新闻引起了半导体界的恐慌。没有EUV，中国半导体强国之梦就面临难产。　　国际半导体制造龙头三星、台积电先后宣布将于2018年量产7纳米晶圆制造工艺。这一消息使得业界对半导体制造的关键设备之

4、一极紫外光刻机（EUV）的关注度大幅提升。此后又有媒体宣称，国外政府将对中国购买EUV实施限制，更是吸引了大量公众的目光。以目前中国半导体制造业的发展水平，购买或者开发EUV光刻机是否必要？中国应如何切实推进半导体设备产业的发展？　　　　EUV面向7nm和5nm节点　　所谓极紫外光刻，是一种应用于现代集成电路制造的光刻技术，它采用波长为10～14纳米的极紫外光作为光源，可使曝光波长降到13.5nm，这不仅使光刻技术得以扩展到32nm工艺以下，更主要的是，它使纳米级时代的半导体制造流程更加简化，生产周期得以缩短。　

5、　赛迪智库半导体研究所副所长林雨就此向《中国电子报》记者解释：“光刻是芯片制造技术的主要环节之一。目前主流的芯片制造是基于193nm光刻机进行的。然而193nm浸没光刻技术很难支撑40nm以下的工艺生产，因此到了22/20nm及以下工艺节点，芯片厂商不得不将193nm液浸技术和各种多重成像技术结合起来使用，以便突破工艺极限。但是采用多重成像的手段就需要进行多次光刻、蚀刻、淀积等流程，无形中提升了制造成本，拉长了工艺周期。”　　因此，EUV技术实质上是通过提升技术成本来平衡工序成本和周期成本。例如，按照格罗方德的测

6、算，启用EUV技术，在7nm和5nm节点，都仅需要1个光罩即可生产。这样理论上来说，就可以起到简化工艺流程，减少生产周期的作用。　　对此，芯谋研究总监王笑龙便指出：“EUV技术的研发主要是针对传统工艺中多次曝光等繁琐问题。在过去的技术中，曝光过程可能重复2～3次，但是EUV技术可以一次完成，既减少了工序，又节约了时间。在简化工艺流程、缩短生产周期的同时，EUV也增加了产能，提升了效率。”　　中国购买为时尚早　　针对EUV，在国内流传着一种声音：受西方《瓦森纳协议》的限制，中国只能买到ASML的中低端产品，出价再高

7、，也无法购得ASML的高端设备。日前，ASML中国区总裁金泳璇在接受《中国电子报》记者采访时否认了这一说法。据金泳璇透漏：“国内某知名半导体晶圆厂现已与ASML展开7nm工艺制程EUV订单的商谈工作，第一台EUV设备落户于中国指日可待。”　　这就是说，EUV要进口到中国并没有受到限制。但是，EUV技术进入中国最大的问题可能并非受限与否，而是有没有必要现在购买？由于EUV开发的技术难度极高，特别是EUV光源的功率不足，导致曝光时间过长，使得EUV一直很难得到实用，目前国际上EUV技术较为成熟的企业只有ASML一家，

8、其销售的EUV价格极为高昂，一台售价超过1亿欧元。而目前EUV的主要应用范围是7nm以下工艺节点，尤其5nm工艺节点的晶圆制造。　　“对于国内制造企业而言，芯片制造的工艺水平还达不到EUV所擅长的范围，目前我们28纳米量产，14纳米还在布局。对于EUV而言，如果采用该技术进行14nm芯片量产，成本太高了。”林雨指出。　　王笑龙也认为EUV技术对于中国来说仍是一项挑战。王笑