资源描述：
《先进制造导论论文2》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、先进制造技术导论作业题11•11.作者:学院:专业:班级:学时间：2013年6月12日浅谈超精密加工技术及其发展Introductiontoultra-precisionmachiningtechnologyanditsdevelopment（XX街XX市XX人学机械I:程学院XX邮编xxxxxx）XXinXXprovincexxxuniversityinstituteofmechanicalengineeringxxxxxxxxxxx摘要：本文叙述了超精密加工技术的概念及范畴，介绍了超精密加工
2、技术的发肢现状在航天、航空工业屮，人造卫星、航大飞机、W川客机等方面的应川，超精密加工技术正叫着精密化、智能化、自动化、商效化、信息化、柔性化、集成化趋势发展。关键字：超精密加工、超精密切削、发展现状、应川领域、发展趋势Abstract：Inthispaper,theconceptandcategoryoftheultraprecisionmachiningtechnology,thispaperintroducesthedevelopmentofultra-precisionmachining
3、technologystatusquointheaerospace,aviationindustry,satellites,spaceshuttle,passengeraircraftapplications,ultra-precisionprocessingtechnologyistowardmotors,Intelligent,automated,efficient,informationization,flexibility,integrationtrendofdevelopment.Ke
4、yword:Ultraprecisionmachining,ultra-precisioncutting,developmentpresentsituation,applicationfieldsanddevelopmenttrend.一、超精密加工技术的概念及范畴1、概念超精密加工n前尚无统一的定义，在不M历史时期、不M的科学技术发展水平的怡况卜，有不同的理解。通常汄为超精密加工就足在超精密机床设备上，利川零件与刀具之M产生的具有严格约束的相对运动，对材料进行微fi切削，以获彳y•极高形状精度
5、和表而光洁度的加工过程。当前的超精密加工是指被加工零件的尺叶精度高于0.1um，表面粗糙度Ka小于0.025Pm，以及所川机床定位精度的分辨率和S复性高于0.01um的加工技术，亦称之为亚微米级加工技术，且正在h'J纳米级加工技术发展。超精密加工技木足以高精度为目标的技术，它必须在综合应川各种新技术，在各个方血精益求精的条件下，冰杏可能突破常规技术达不到的精度界限，达到新的高精度指杬。实现超精加工的主耍条件应包括以卜*诸方而的高新技术：（1）超精密加工机床与装、夹具;（2）超精密切削刀具，刀具材
6、料，刀具刃磨技术；（3）超精密加工工艺；（4）超精密加工环境控制（包括倂温、隔振、洁净控制等）；（5）超精密加工的测控技术。2、超精密加工主要铋括三个领域：超精密切削加T:主要指金刚石刀具超精密切削，用于加工奋色金属材料及其合金，以及光学玻璃、石材和碳素纤维等非金属材料，加工对象足精度要求很高的镜而零件。它己成功地解决了川于激光核聚变系统和天体望远镜的人型抛物血镜的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表而加工和大规模集成电路基片的加工。超精密特种加工如人规模集成电路芯片上的图形是川电子
7、朿、离子朿刻蚀的方法加工，线宽可达0.1um。如用扫描隧道电子显微镜（STM）加工，线宽可达2〜5nm。3、加工工具:加工工其主耍是桁刀;n、磨具及刃磨技术。用金刚石刀具超精密切削，值得研究的问题冇：金刚石刀具的超精密刃磨，其刃口钝圆半径应达到2〜4nm，M时应解决其检测方法，刃口钝圆半径与切削厚度关系密切，若切削的厚度欲达到10nm,则刃U钝圆半校K、/:为2nm。濟具当前主要采用金刚石微粉砂轮超精密磨削，这种砂轮奋磨料粒度、粘接剂、修整等问题，通常，采用粒度为W20〜W0.5的微粉金刚石，粘
8、接剂采用树脂、铜、纤维铸铁等。二、超精密加工的发展现状及应用领域1、发展现状1962年美国UnionCarbide公司研制出首台超精密车床。在美国能源部支持下，LLI实验室和Y—12工厂合作，与1983年成功地研制出人型超粘密金刚石车床(DTM一3型)。该机床可加工蛣火直径C2100nmi，多路激光干涉测景系统分辨率为2.5mn。1984年，LLL实验室成功地研制出LODTM人型金刚石车床。该机床可加工的最人直径为C1625mmx500mm,重置1360kg。采用的双频激光测S系统分辨率为0.7
