MEMS与超透镜相结合,在传感器中操控光线.doc

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1、MEMS与超透镜相结合,在传感器中操控光线  近日,美国能源部(DOE)阿贡国家实验室与哈佛大学的研究人员进行合作,首次将在光通信、生物成像、激光雷达(LIDAR)系统中广泛应用的两种技术:微机电系统(MEMS)和超透镜结合到了一起,成功地制造出位于MEMS平台顶层之上的超透镜。  背景            前不久,笔者刚介绍过美国哈佛大学约翰·保尔森工程和应用科学学院(SEAS)的科研人员开发的大面积自适应超透镜(metalens),它有望成为未来的“人造眼”。    超材料和微机电系统(MEMS)两项技术看似

2、无关,但是科研人员在尝试将它们结合。例如,美国杜克大学科研人员就结合这两项技术,设计出了首个具有红外线发射特性的超颖材料装置,它不仅能够显示出迅速变化的红外线图案,还可用于废热利用。此外,这种可重构的超颖材料还有望应用于动态红外线光学隐身斗篷,以及红外线范围内的负折射率介质。    创新  近日,美国能源部(DOE)阿贡国家实验室与哈佛大学的研究人员进行合作,首次将在光通信、生物成像、激光雷达(LIDAR)系统中广泛应用的两种技术:微机电系统(MEMS)和超透镜结合到了一起,成功地制造出位于MEMS平台顶层之上的超

3、透镜。  下图是集成到MEMS扫描器中的基于超表面的平面透镜(方片)的近距离视图。MEMS与超透镜相结合,通过结合高速动态控制和精准波前空间处理的优势,在传感器中操控光线。这幅图像由阿贡国家实验室纳米材料中心的光学显微镜拍摄。    (图片

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