MEMS传感器在气体检测中的应用及优势分析.doc

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1、MEMS传感器在气体检测中的应用及优势分析　　MEMS传感器在我们的生活中应用已经非常广泛，大到汽车，小到手机、可穿戴手环，以及无人机监测等都使用了大量的MEMS传感器，因此业内人士也非常看好MEMS的发展前景。　　首先先来解释什么是MEMS。MicroelectromechanicalSystems,这个让老美念起来都绕口的词，中文叫做“微机械机电系统”。随着智能手机等电子产品集成的功能越来越多，不同功能的芯片集成到一起更能缩小体积，有利于产品设计.　　　　使用MEMS技术的好处　　1.原材料价格低廉，产量

2、充足。　　大部分集成电路和MEMS的原材料是硅(Si)，这个神奇的VI族元素可以从二氧化硅中大量提取出来。而二氧化硅是什么？说的通俗一点，就是沙子。沙子君在经历了一系列复杂的加工过程之后，就变成了单晶硅，长这个样子：　　MEMS驱动器和传感器大部分都含有微机械机构。试想一下，我们要检测一个一微米长的弹簧移动了一纳米（微米尺度的悬臂梁在纳米尺度的范围内移动），这种加工精度在传统机械加工工艺上面是难以实现的。正因为有了MEMS技术，现在我们可以使数以万计的MEMS芯片（有些工艺也会把集成电路芯片放在同一步骤加工）

3、出现在了每一片wafer上面.　　隔离人为因素，确保了每一个MEMS芯片之间的工艺误差可以得到严格的控制，从而提高了良品率。切片、封装之后，就成为了一个个的MEMS芯片。从外观上来看，大部分的MEMS芯片和集成电路芯片是差不多的。　　MEMS现在应用广泛、发展前景较好，但是它的可靠性和精度并不能达到某些传统工艺的标准，但是前途也是不可限量的。　　MEMS气体传感器应用广泛：　　汽车系统　　汽车集成辅件等需要检测，等新能源气体传感器中，需要用到MEMS传感器及模组。　　智能手机　　三星手机为例，三星S7在9轴组

4、合、气体传感器、自动变焦、微型扬声器、触摸屏、红外线传感器、紫外线传感器等方面有用到传感器。　　环境监测　　净化口罩　　适用范围包括对流量压、温度、湿度、颗粒物、硫化物、碳化物、酒精目标感知及对传输、感知的多功能集成等。　　医疗设备　　适用范围包括可穿戴设备中对体温、血压、心电、脑电、血糖的检测，对温度、气压、湿度的环境感知；可植入设备中对心压、眼压、血压传感器、起搏器、除颤器、胃液刺激器、人工耳蜗、视网膜的使用等；微创手术中对触觉、压力、温度、位置的应用等。　　其他　　汽车电子MEMS传感器的应用移动终端、

5、游戏机、遥控器等设备上，MEMS传感器可以实现先进的功能。　　交通中智能交通、气体传感器监测；能源中智能电网、多传感器数据；化工中安全及生产气体等。