mems传感器在汽车中的应用研究及进展

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1、农业网络信息·信息技术·2015年第7期AGRICULTURENETWORKINFORMATIONMEMS传感器在汽车中的应用研究及进展1234222李文平，顿文涛，李寅生，袁帅，李勉，马斌强，袁超（1.郑州天诚信息工程有限公司，河南郑州450003；2.河南农业大学，河南郑州450002；3.中兴通讯股份有限公司，江苏南京210012；4.四川农业大学，四川雅安625014）摘要：随着汽车智能化的快速发展和MEMS技术的深入研究，MEMS传感器在汽车电子产业中具有广阔的应用前景。本文针对MEMS汽车传感器的研究应用现状、主要MEMS汽车

2、传感器的原理及应用等进行了简要阐述，最后对MEMS汽车传感器的发展趋势进行探讨及展望。关键词：MEMS技术；汽车传感器；微机电系统中图分类号：TP315文献标识码：A文章编码：1672－6251（2015）07－0052－04ResearchandDevelopmentabouttheApplicationofMEMSSensorsinAutomobiles1234222LIWenping,DUNWentao,LIYinsheng,YUANShuai,LIMian,MABinqiang,YUANChao(1.ZhengzhouTianch

3、engInformationEngineeringCo.,Ltd,HenanZhengzhou450003;2.HenanAgriculturalUniversity,HenanZhengzhou450002;3.ZTECorporation,JiangsuNanjing210012;4.SichuanAgriculturalUniversity,SichuanYa′an625014)Abstract:Withtherapiddevelopmentofautomobileintelligentizationandfurtherresear

4、chofMEMStechnology,MEMSsensorshavebroadapplicationsintheautomotiveelectronicsindustry.AimingattheapplicationofMEMSsensors,severalkeyprinciplesandapplicationsofMEMSsensorswerebrieflydescribed.ThedevelopmenttrendofautomotiveMEMSsensorswasexploredandprospected.Keywords:MEMSt

5、echnology;automotivesensor;micro-electro-mechanicalSystem近年来，伴随汽车智能化的快速发展，汽车电子可满足汽车环境苛刻、胎压监控(EPMS)、可靠性高、产业已成为汽车工业发展的重要核心技术。汽车传感精度准确、成本低的要求。其应用方向和市场需求包器作为实现汽车智能化的重要前提，已成为当前汽车括车辆的防抱死系统(ABS)、电子车身稳定程序(ESP)、电子技术发展和研究的重要内容。同时，汽车传感器电控悬挂(ECS)、电动手刹(EPB)、斜坡起动辅助[4]作为信号转换和获取装置，对汽车安全性

6、、经济、舒(HAS)、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等。[1~2]适性等性能的影响也越来越重要。随着各国政府全面推出更高标准的汽车安全规定1MEMS传感器以及汽车智能化的发展推动，MEMS传感器在汽车上MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical得到了快速发展。汽车越高档，所使用的MEMS传感Systems）的英文缩写，MEMS传感器是采用微电子和器越多。目前，汽车传感器中广泛使用的MEMS传感微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传器主要有压力传感器、加速度计传感器、机械陀螺传感器相比，具有体积小、

7、重量轻、微型化、智能化、感器、温度传感器等，这四类产品是汽车MEMS销售多功能、高集成度、适于大批量生产和实现智能化等额的主要贡献者，几乎占了整个汽车MEMS市场销售[3][5~6]特点。同时，在微米量级的特征尺寸使其可以完成某额的99%。然而这些传感器基本都是由德国博世、些传统机械传感器所不能实现的功能。MEMS传感器日本电装、日本Panasonic等国际传感器巨头所生产。基金项目：河南省教育厅自然科学基金项目（编号：2004923010）。作者简介：李文平(1989-)，女，本科，助理工程师，研究方向：信息自动化、智能仪器。通信作者：

8、袁超，男，本科，副教授，研究方向：传感器技术、信息技术、高等教育。收稿日期：2015-05-25—52—《农业网络信息》2015年第7期信息技术近年来，国内许多科研单位，如清华大学、北京大压阻