半导体材料测试数据收集系统的设计与实现

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1、半导体材料测试数据收集系统的设计与实现作者姓名卫小松学校导师姓名、职称胡辉勇教授企业导师姓名、职称宋炳辉高工申请学位类别工程硕士万方数据万方数据学校代码10701学号1311122884分类号TN04密级公开硕士学位论文半导体材料测试数据收集系统的设计与实现作者姓名：卫小松领域：软件工程学位类别：工程硕士学校导师姓名、职称：胡辉勇教授企业导师姓名、职称：宋炳辉高工学院：微电子学院提交日期：2016年3月万方数据TheDesignandImplementationofSemiconductorMaterialTe

2、stDataCollectionSystemAthesissubmittedtoXIDIANUNIVERSITYinpartialfulfillmentoftherequirementsforthedegreeofMasterinSoftwareEngineeringByWeiXiaosongSupervisor:HuHuiyongProfessorSongBinghuiSeniorEngineerMarch2016万方数据西安电子科技大学学位论文独创性（或创新性）声明秉承学校严谨的学风和优良的科学道德，本人声

3、明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢中所罗列的内容以外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果；也不包含为获得西安电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同事对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文若有不实之处，本人承担一切法律责任。本人签名：日期：西安电子科技大学关于论文使用授权的说明本人完全了解西安电子科技大学有关保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识

4、产权属于西安电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印件，允许查阅、借阅论文；学校可以公布论文的全部或部分内容，允许采用影印、缩印或其它复制手段保存论文。同时本人保证，结合学位论文研究成果完成的论文、发明专利等成果，署名单位为西安电子科技大学。保密的学位论文在年解密后适用本授权书。本人签名：导师签名：日期：日期：万方数据摘要摘要SMARTF和FAB3系统为全球半导体制造商提供了一整套自动化生产管理的解决方案。为了提高生产自动化，国内外大型半导体材料制造商的生产流水线均采用根据产线具体情况定制的MES系统来对生产进

5、行管理。而在生产过程中，对所生产的半导体材料批次进行测试，是把控生产情况的关键。本文针对实际半导体材料生产线，采用MES系统结构，重点研究、设计了一种能实时收集、查看关键工艺参数测试数据的半导体材料测试数据收集系统的通用实现方案。该方案基于MES系统架构，通过底层FAB3系统实现业务逻辑处理，采用WebService技术建立了不同系统间的通信，并使用ADO.NET数据库访问技术对数据库进行操作。根据产线测试数据收集的自动化需求，将测试数据收集系统分为数据收集功能模块，数据分析功能模块以及数据查询显示功能模块。在

6、该系统中数据收集功能位于Service端，该模块是通过调用FAB3系统Workflow的方法来实现的，将所收集到的数据存储在多张相关联的数据表中，为系统提供实时数据采集和存储功能；数据处理以及显示位于Client端，采用MVP的设计模式，实现了从数据库中抓取以及处理数据的功能，并以一种友好的方式呈现给用户。最后，对系统进行了测试分析，结果表明该系统成功地实现了测试数据收集系统中测试数据收集以及相关数据查询的功能，并且在压力测试的情况下，以较快的响应时间准确的实现了各个功能，为产线自动化水平的提高提供了技术支持。

7、关键词：半导体材料，测试数据收集，MES，WebService，ADO.NETI万方数据西安电子科技大学硕士学位论文II万方数据ABSTRACTABSTRACTTheSMARTFandFAB3systemhasprovidedacompleteautomaticproductionmanagementsolutionfortheSemiconductorSupplier.Inordertoincreaseproductionautomation,mostsemiconductormaterialsupplier

8、suseMESsystemwhichisaccordingtotheconditionofproductionlinetomanageproductionintheirworkshop.Testingthesemiconductormateriallotisthekeytocontrolproductionduringtheproductionprocess.Accordingtoth