基于python的半导体测试软件系统的设计与实现

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1、北京交通大学专业硕士学位论文4．1．1基于配置文件的设计方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．204．1．1．1配置文件的内容与组织方式⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．204．1．1．2配置文件格式与生成⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．214．1．2测试脚本设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．224．2半导体测试系统测试流程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯234．3半导体测试系统逻辑结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯244．4半导体测试系统功能模块⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯254．4．1界面操作模块⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．274．4．2脚本解释模块⋯⋯⋯⋯⋯

2、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．284．4．3脚本执行模块⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．304．4．4数据分析模块⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．324．4．4．1数据库架构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．364．4．4．2数据库访问模块⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．394．4．4．3数据库查询工具⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．404．4．4．4数据面板的修改⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．414．4．5测试报告生成模块⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．4l5半导体测试系统的实现⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯445．1半导体测试系统关键

3、功能的实现⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯445．1．1界面操作功能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．445．1．2脚本解释功能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．465．1．3脚本执行功能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．465．1．4数据分析画图功能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．475．1．5测试报告生成功能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．495．1．6异常处理功能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．505．2半导体测试系统部署⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯515．3半导体测试系统实施策略⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯525．4半导体测试

4、系统应用效果分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯535．4．1半导体测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．535．4．2系统测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．586总结和展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯606．1总结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．606．2展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯61目录参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．62附录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．64作者简历⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

5、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．65独创性声明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．66学位论文数据集⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．67绪论1半导体测试是半导体生产过程中的重要环节，半导体测试系统的设计与开发必须在对被测对象——半导体认真研究分析基础上展开。半导体测试系统可以极大地提高测试效率，测试自动化和功能多样化是目前半导体测试领域的重点与难点。1．1论文背景和意义本文选题来自于吉时利测量仪器有限公司研发的半导体特征分析和曲线绘制测量软件项目ACS(AutomatedCharacterizationSuite，自动特征分析套件)。吉时利(Keit

6、hley)仪器公司为满足全球客户的不断发展变化的测试与测量需求提供可靠解决方案。凭借应用于科学研究的电子测量技术领域的技术优势，同时通过与在全球通信、半导体和元器件制造等不断革新的行业中领先厂商的广泛而紧密的合作，吉时利在这些行业的生产测试测量技术方面取得了居于全球领先地位的非凡成就IlJ。ACS基础版是吉时利功能强大的自动特征分析套件系列的最新产品，集成了业界量程最宽的源测量单元——吉时利数字源表系列。ACS基础版结合吉时利成熟的数字源表产品，为用户提供了一套具有基本曲线绘制功能、支持参数化测试且极大突破成本的元件测试解决方案12]，将彻底取代原有曲线绘制软件。自动化是ACS软件

7、平台的主要特征。它支持对单个器件，到晶圆，再到晶圆盒不同级别的对象开发测试计划。ACS软件的交互式用户界面，包括晶圆圆形描述工具，以及各种测试模块和测试序列。用户可以通过图形或者图表的方式实时查看数据，也可以在同一张图表上观察并行测试结果。在一项测试完成后，用户可以通过交互式GUI处理测试结果，并轻松配置后续的测试项目。本文设计和开发半导体测试软件系统，系统主要用于半导体晶圆的测试，提供从测试配置到分析结果的一条龙服务，以及简单易懂的可视化操作界面，并为专门的测试开发