电化学沉积和聚合物热解法制备类金刚石碳复合薄膜及其性能研究博士学位论文

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1、分类号密级UDC编号中国科学院研究生院博士学位论文电化学沉积和聚合物热解法制备类金刚石碳复合薄膜及其性能研究陈刚指导教师杨生荣研究员;张俊彦研究员中国科学院兰州化学物理研究所申请学位级别理学博士学科专业名称物理化学论文提交日期2007年11月论文答辩日期2007年12月培养单位中国科学院兰州化学物理研究所学位授予单位中国科学院研究生院答辩委员会主席博士学位论文电化学沉积和聚合物热解法制备类金刚石碳复合薄膜及其性能研究导师:杨生荣研究员张俊彦研究员博士生:陈刚专业:物理化学研究方向:薄膜材料培养单位:中国科学院兰州化学物理研究所起止日期:2002.9

2、-2007.11二○○七年十一月Ph.D.ThesisPreparationandpropertiesofdiamond-likecarboncompositefilmsbyelectrochemicaldepositionandpyrolysisofpolymerprecursorsByGangChenDirectedbyProfessorShengrongYang&ProfessorJunyanZhangAdissertationsubmittedtoGraduateSchool,ChineseAcademyofSciencesinPartia

3、lFulfillmentofRequirementsfortheDegreeofDoctorofPhilosophyinPhysicalChemistryNovember2007目录I目录摘要.........................................................................................................................................VABSTRACT...................................

4、........................................................................................VI第一章绪论..............................................................................................................1第一节类金刚石碳薄膜的概述..........................................................

5、..........................21.1.1DLC薄膜的结构.....................................................................................21.1.2DLC薄膜的制备.....................................................................................51.1.3类金刚石薄膜的表征......................................

6、......................................91.1.4类金刚石碳膜的性能与应用..............................................................15第二节电化学沉积类金刚石碳薄膜的研究进展..................................................181.2.1实验装置及基本原理.......................................................................

7、...201.2.2影响电化学沉积的因素......................................................................201.2.3反应机理..............................................................................................221.2.4电化学沉积DLC薄膜的发展方向......................................................24第三节聚

8、合物先驱体热解法制备类金刚石碳薄膜的研究进展.......................251.3.1基本原理和研究进展

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