激光回馈波片位相延迟测量的误差源及消除方法

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1、激光回馈波片位相延迟测量的误差源及消除方法摘要：激光回馈是一种新型的波片位相延迟测量的方法。将波片放置在激光器与回馈镜之间，可使激光回馈波形产生偏振90度旋转（即跳变）现象，而两偏振态所占的周期比（占空比）与波片的位相延迟相关。先测得占空比即可由计算机自动给出波片位相延迟。采用正反向两次扫描回馈镜，两次获得并测出占空比，可以很好地消除由于两偏振态损耗的波动造成的测量误差，提高了该方法长期测量的稳定性。测量的重复性达到0.5度。该方法结构简单，在线测量精度高，满足工业化生产的需要。关键词：激光回馈；波片位相差；偏振跳变1.引言波片作为位相延迟器

2、，在与偏振光有关的光学系统中有着广泛的应用，如外差激光干涉仪，偏振光干涉系统，偏光显微镜、椭偏仪、光隔离器、窄带光滤波器、可调光衰减器、光盘驱动器光拾取头等等，其中波片的位相延迟误差会对系统产生影响[1]。正是由于波片在实际光学系统中的广泛应用，波片的测量技术显得尤为重要。传统的测量方法有旋转消光法、电光调制法、磁光调制法等，这些方法本质上都属于消光法，需要测角机构，使得整个系统结构庞大，并且测角的精度会对测量结果产生很大的影响[2-6]。新型的测量方法包括激光频率分裂法、激光回馈法等，激光频率分裂法精度很高，结构也很简单，但是需要对波片镀增

3、透膜，不适合实际生产的测量要求[7]。而激光回馈法中，待测波片在激光腔外，不需要进行镀膜处理，而且整个系统中不需要测角机构以及高精度的检偏器，结构十分简单，因而大大简化了测量的过程，很适合在线测量的需要。激光回馈法是利用激光回馈中的偏振跳变现象，通过测量一个扫描周期中两个偏振态的占空比来实现对波片的测量。由于在长期的测量过程中，很难保证激光器对于两个偏振态的损耗完全相同，同时，波片的倾斜会造成两个偏振态的透过率不同，当两个偏振态的光强比值发生变化时，会造成上述占空比的变化，最终导致测量结果产生误差。本文提出了一种双向扫描测量的方法，可以从理论

4、上完全消除这种误差源，有效地提高了该方法长期测量的准确性。测量装置：图1激光回馈波片测量仪装置图激光回馈波片位相延迟法的测量装置如图1所示，反射镜M1、M2及增透窗片3为回馈镜，反射率为10%，由压电陶瓷PZT1驱动，在计算器输出的三角波信号的驱动下做往复运动；及A/D转换后送入计算机处理；P为检偏器，与光电探测器D2一起探测回馈信号的偏振信息。在测量过程中，激光器保证始终工作在中心频率处，出射的线偏振光的偏振方向与波片的快轴方向重合，PZT1推动回馈镜M3来改变外腔腔长，则我们通过探测器D2可以探测到偏振跳变的波形，根据激光回馈偏振跳变的理

5、论，当回馈腔中存在双折射元件的时候，回馈波形会产生偏振跳变现象，如图2所示。2.偏振跳变原理及误差源分析2.1o,e光等效反射率及跳变原理关于激光回馈偏振跳变理论已有文章做过详细的论述[8]。这里对该理论进行简化性的论述。我们把M2及回馈镜M3等效为F-P腔，由于回馈镜的反射率很低，所以我们只考虑M3的一次反射。记M2的反射系数为r2，透射系数为t2，回馈镜M3的反射系数为r3，由多光束干涉理论我们可以得到此F-P腔的等效反射系数为其等效反射率为:由于r3很小，可以忽略二阶项，于是等效反射率可简化为RR2

6、1655;rrt2而等效腔镜反射率的变化，将直接影响光强信号。所以当外腔没有双折射元件的时候，随着回馈镜的移动，光强呈现为随L变化的余弦波形。当外腔存在双折射元件时，设o光方向为x方向，e光方向为y方向。双折射元件产生的位相差为，则此时x、y两个方向上的等效反射率不一样，分别为图2激光回馈偏振跳变波形当激光的偏振方向为x方向时，x偏振态的等效反射率R(xx)R(x)23，此时由于y偏振光没有出射，并未进入到外腔，所以其等效反射率R&

7、#61501;R2；当激光的偏振方向为y方向时，由于x偏振光没有出射，并未进入到外腔，因此x偏振态的等效反射率RR2，y偏振光的等效反射率R(yy)R(y)23。对于激光器而言，出射激光的偏振方向取决于两个偏振态各自的损耗。而激光器的损耗与腔镜的反射率密切相关，反射率越大，其损耗越小。假设初始激光器的偏振态为x，L的初始位置位于A点，因此，从图3中我们可以看出，在AB段，R(x-x)>R(x-，出射光保持为x偏振态；在B点以后，R(x-x)（略，想看可以看pdf原文）2.2

8、迟滞效应的影响当L向相反方向运动时，按照前边的分析方法，可以得到光强信号及对应的偏振态。我们可以得到：L正向运动和反向运动时，等效反射率所走过的路线不一样，偏振态跳