pmac运动控制器在光刻机控制系统中的应用

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1、PMAC运动控制器在光刻机控制系统中的应用

2、第1引言随着PC（Personalputer）的发展和普及，采用PC+运动控制卡作为上位控制将是运动控制系统的一个主要发展趋势。这种方案可充分利用计算机资源，用于运动过程、运动轨迹都比较复杂，且精度、柔性比较强的机器和设备。由于光刻机对于精度的要求特别高，因此本系统采用了PC+PMAC开放式多轴运动控制器的控制方式。即将PMAC运动控制卡插入PC机的标准插槽中作实时控制，而PC机作为人机界面和系统管理的上位机。1、系统硬件结构1.1PMAC结构与原理PMAC是一种开放式可编程多轴运动控制

3、器，它采用MotorolaDSP56001数字信号处理2器作为CPU，其结构如图1所示。PMAC适应多种硬件操作平台，具有PC、STD、VME、PCI、104总线及串口脱机运行的功能，方便用户选用适合自己的主机。PMAC适用于所有电动机，包括普通的交（直）流电动机、交（直）流伺服电动机、步进电动机、直线电动机等，对不同电动机，PMAC可提供相应的控制信号。PMAC能够支持多达256个运动程序。任意坐标系在任何时候都可以执行这些程序中的任意一个，即使另外的坐标系正在执行同样的程序。PMAC能够同时执行和该卡上坐标系数目一样多的运动程

4、序。一个运动程序能够将任何一个其它的运动程序调用作为子程序，可以带变元，也可以不带变量。图1PMAC结构图1.2光刻机控制系统硬件结构及工作原理PMAC运动控制卡上的专用CPU与PC机的CPU构成主从式双CPU控制模式：上位机PC机的CPU可以专注于人机界面、实时监控和发送指令等系统管理工作；下位机PMAC卡上的专用CPU用来实时处理所有运动控制的细节：升降速计算、行程控制、多轴插补等，无需占用PC机资源。同时PMAC运动控制卡还提供了功能强大的运动控制软件库：C语言运动库、1->Y:$FFC2,14,1M2->Y:$

5、FFC2,14,1M401->X:$C00D,0,24SM402->X:$C005,0,24,SOPENPROGRAM1CLEARINCTA200TS99F50000……PLC程序部分：nbsp;OPENPLC1CLEARM1=0Q6=M401IF（Q1=0）Q3=Q6-Q5IF（Q3>900＊Q9+450）M2=1Q9=Q9+1ELSEM2=0ENDIFQ10=8889ENDIF……3、结束语本文通过PMAC卡在光刻机控制系统的实际应用，介绍了一种运动程序与PLC程序相结合的方法，控制光刻机的运动。该方法已经被

6、某公司的所实际应用，起到了很好的经济效益。