JBT9338-1999坐标测量机技术要求

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1、ICS37.020N34JII"}中华人民共和国机械行业标准JB/T9338-1999坐标测量机技术要求Technicalrequirementsforcoordinatemeasuringmachines1999一08一06发布2000一01一01实施国家机械工业局发布JB/T9338-1999前言本标准是对JB/Z351-州坐标测最机技术要求》的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主耍技术内容没有变化。本标准自实施之日起，代替JB/Z351-89,本标准由全国光学和光学仪器标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位:

2、上海光学仪器研究所，贵阳光电技术研究所。中华人民共和国机械行业标准坐标测量机技术要求JB/1'9338-1999代替1B/Z351-89Technical.娜由....加rcoordinatemem时吧..d自”范围本标准规定了坐标测t机的定义和技术要求。本标准适用于最大NA长度小于或等于18M.的三坐标测量机。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/r11162-1989光学分划零件通

3、用技术条件3定义本标准采用下列定义。3.1坐标轴的直线度straightnessofcoordinatedaus沿每一坐标轴移动时，在两相互垂直平面内，移动线与一理想几河直线的偏差。由此得出六个%借参数:的沿Y方向侧f的X坐标轴的直线度;b)沿Z方向侧f的R坐标轴的直线度;。)沿X方向测盆的Y坐标轴的直线度;d)沿Z方向测蚤的Y坐标轴的直线度;e)沿X方向侧f的Z坐标轴的直线度;f)沿Y方向测盘的Z坐标轴的直线度。3.2坐标轴的旋转偏差rotationaldeviationofcoordinated。沿每一坐标轴移动时所产生的

4、旋转运动定义为旋转偏差。由此得出九个测t参数:a)围绕X轴旋转的r坐标轴的旋转偏差;b)围绕Y轴旋转的X坐标轴的旋转偏差;。)围绕2轴旋转的Y坐标轴的旋转偏差;d)围绕X抽旋转的Y坐标轴的旋转偏差;e)围绕Y轴旋转的Y坐标轴的旋转偏差;f)围绕Z抽旋转的Y坐标轴的旋转偏差;动围绕X轴旋转的Z坐标轴的旋转偏差;h)围绕Y轴旋转的Z坐标轴的旋转偏差;1)围绕Z轴旋转的2坐标轴的旋转偏差。3.3崖鱼塑丝迪里orthopnalityofcoordinatedaxes国家机械工业局怕的一08一06批准2000一01一01实施两相互垂直坐

5、标轴的直线度的公差带之间的夹角与90'角的偏差。由此得出三个侧t参数:a)X与Y坐标轴间的垂直度;劫Y与Z坐标轴间的垂直度;c)X与Z坐标轴间的垂直度。3.4位f准确度positionalaccuracy测t机每一坐标轴的位f相对其零位的读出值与基准长度侧f系统的相应示值之间的差值。由此得出三个测t参数:a)X坐标轴的位t准确度;b)Y坐标轴的位置准确度;c)Z坐标轴的位里准确度;注:沿粉各坐标轴的侧f线进行侧盆，侧t线应处于其他两坐标轴侧盈行程的中间位Ho3.5触测的不确定度uncertaintyofcontact测t时触测

6、的显示坐标值与其真实位置之间的偏差。它主要是由检测系统和侧头所产生的。由此得出三个测t参数:a)一维触测的不确定度;b)二维触侧的不确定度;c)三维触测的不确定度。注:1用一位于一个坐标面内的f块(尺寸为创为助一30.)枪脸一维触侧的不确定度。这时的触侧误差系为所侧f的单个长度同其算术平均值之间的偏盆。2用一位于一个坐标面内的环规(孔径为4Y20mm-4}3mm)检脸二维触测的不确定度。这时的触侧误差系为根据最小误差平方和的方法经计算得出的补偿圈周同触洲点的显示坐标值之间的径向偏整。3同一圆球(尺寸为心20a.一。3U=)检脸

7、三维触洲的不确定度。这时的触测误差系为根据.小误差平方和的方法经计算得出的补偿圆球同触侧点的显示坐标值之间的径向偏差。4如果至少有95%的触侧误差小于或等于允许的数值，则应到为合格。3.6轴向长度测盈的不确定度uncertaintyofaxiallengthmeasuring一平行校准于测it机坐标轴线的f块的中心长度与坐标侧且机相应测里结果之间的差值。注:在三个坐标轴方向(X,Y,Z)的每一轴向中.分别对三块A块进行侧皿。里块长度为相应坐标轴侧f行程的】/3,1/2和3/4，最长至1000nm,3.7空间长度侧a的不确定度i

8、mceitaintyalspatiallengthmeasuring在坐标测a机测a空间内任意放置的a块的中心长度与坐标Mla机相应侧a结果之间的差值。注:对三块a块进行侧212块长度为最长坐标轴洲a行程的1/3,1/2和3/4，最长至1000um,4技术要求4.1测盆机外表