三坐标测量机

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1、三坐标测量机三坐超高精度CNC三坐标测量机LEGEX系列产品样本No.C16012(3)三丰公司80年的技术结晶世界公认No.1的高精度测量技术。1LEGEX574达到世界No.1*的高精度E0,MPE=0.28+L/1000LEGEX776LEGEX9106*世界第一的测量精度为2014年10月本公司调查的结果。2精进的技术误差因素彻底的分析和排除之1主体基座设计高刚性，高衰减性LEGEX的主体基座采用球状石墨铸铁(球墨铸铁)*的密闭式结构(正在申请专利)，这个结构实现了高刚性、高振动衰减性。并且，运用FEM构造模拟分析系统进行

2、了彻底的应力分析，使正常机器操作产生的变形尽量减小，保证良好的几何学精度。FEM构造模拟分析系统*球状石墨铸铁(球墨铸铁)通常，铸铁是包含碳、硅、锰、磷、硫等的铁合金，碳元素在铁氧体或珠光体材料中成片状物析出，而球墨铸铁，在铁水中加入镁合金析出的碳元素为球状物，没有0.1mm以上的孔洞和针孔(缺陷)，成为理想的铸铁。拥有极好的抗拉强度，并且具有出色的延伸性、柔韧性及耐磨性等，广泛用于汽车零部件等各种机械零部件的制造。LEGEX采用的是FCD600球墨铸铁。3与基座一体化的Y轴导轨Y轴导轨和基座的一体化结构为进一步提高刚性和热稳定性

3、，开发了Y轴导轨与主体基座一体化结构。各轴滑动部分使用了陶瓷–等离子喷涂技术(正在申请专利)Y轴导轨，X轴横梁，Z轴主轴滑动部分进行陶瓷–等离子喷涂处理，形成空气轴承滑动最适合的表面。具有出色的耐锈蚀性和抗腐蚀性。0.60.08sζ=0.028高振动衰减性实现超高精度扫描测量0.4LEGEX的主体结构快速衰减移动时的残留振动，大幅度减0.2少因振荡产生的波动幅度。比防止外部振动的防振装置更2/s有效果，提高了防振性能。-0m由此，抑制扫描测量时的振动，实现超高精度的扫描测量。-0.2-0.4-0.60.50.60.70.80.9T

4、ime(s)测量工作台测量工作台表面(KISAGE加工)具有陶瓷涂层(选项)的测量工作台表面4精进的技术误差因素彻底的分析和排除之2固定桥式工作台移动结构桥式移动结构固定桥式工作台移动结构桥式移动型三坐标测量机的X轴移动时的载荷变化例消除俯仰和偏航误差桥式移动结构的CNC三坐标测量机多是由单侧下部配置的驱动系统进行桥结构的移动(Y轴移动)，所以移动时会产生俯仰误差和偏航误差。也有把驱动系统配置在桥结构中央重心附近的方式，因为X轴左右移动时重心也随之移动，也不能排除这些误差。LEGEX，通过“如果桥式结构移动产生误差，让桥结构不移动

5、就好了”的逆向构思，极力控制阿贝误差采用了桥固定工高移动精度作台移动结构。X轴移动和Y轴移动的独立桥式移动结构的情况，比如X轴的移动会引起Y轴导轨(气浮轴承)载荷发生变动，测量空间的几何学结构发生变形。LEGEX的X轴和Y轴是完全独立的构造，X轴的移动对Y轴导轨Zዡዷዡൻۯዡ没有任何影响。因此能够容易提高各轴的精度追求，维持长期的高精度水准。ഘޝዡ׶完全重心驱动ൻۯዡ各轴的驱动系统配置在各移动部的重心处，驱动轴旋转的惯性力矩被抑制，加减速的时候几乎没有构造体的变形。例如对X轴导引的X轴横梁完全采用三丰独自开发的高刚性气浮轴承的原创

6、结构，可以进行高速、高加减速驱动。Xዡ჈Յ5振动对策外部振动对策因为受到设置场所地面振动的影响，测量值会产生偏差。LEGEX，标准配置了专用的高性能带有自动调水平功能的“空气阻尼弹簧减振器”。传感器自动接收测量工作台的移动以及由工件引发的载荷变动，并可以快速地使主机复归水平。除振台配置内部振动对策驱动由滚珠丝杆+DC伺服电机来进行。为了吸收滚珠丝杠旋转的锥形运动和轴垂直面的振动，我们采用了一个特殊的浮动机构以链接滚珠丝杠与导向块。因此，滚珠丝杠的振动不影响移动精度，实现了高速驱动。另外，三丰自主开发的高刚性低振动气浮轴承，实现了抑

7、制振动与原来比只有5分之1，还配置了各轴导轨的特殊振动衰减机构等，各种各样的内部振动对策。自动水平空气阻尼弹簧减振器ࡐዩີߘஞ؋݀ิഗົޜகٳޝۯऐࠓڞၠ੷அజ带浮动机构的滚珠丝杠结构图6精进的技术误差因素彻底的分析和排除之3超高精度的测长单元温度补偿功能热膨胀系数“≒零”的高精度玻璃尺保证18ºC～22ºC的温度范围内的精度LEGEX，配置有新开发的几乎没有热膨胀的线膨胀系数以前的超高精度三坐标测量机，要求高水平恒温室的设置环0.01×10-6/K超高精度结晶玻璃尺，与同样最新开发的分辨力境。但是，LEGEX，通过FEM结构分析

8、实现了热对称结构，为0.01µm高性能反射型编码器相组合的超高精度测长单元。其结果，实现了即使温度变化也能对测量空间的抑制应变，同时标尺的独自固定方式，抑制因与安装面的热膨胀率差异亚微米测量精度的同时，可以在20±2ºC广泛的温度环境下进产生的滞后