浅析电子通信产业中mems技术的应用

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1、浅析电子通信产业中MEMS技术的应用（江苏省邮电规划设计院有限责任公司，江苏南京210019）摘要：MEMS中融合了微型执行器、微型机械以及控制电路、通信接口、信号处理等功能，MEMS技术在电子通信中，不仅可以提升电子通信效率，同时也是创新电子通信产业的关键。关键词：电子通信；MERS技术；应用刖目衡量一个国家综合国力的强弱，不单单考量经济的发展水平，更重要的是科学技术的发展水平，如果一个国家的科学技术水平落后，那么经济就没有发展的动力，所以要想提高国家实力，需要全面提高科技水平，用科技的力量来促进经济的发展。MEMS技术是微机电系统的缩写，是一项非常先进的科学技术,在社会各个行业中有

2、着非常广泛的应用，MEMS技术在电子通信产业中的应用有助于电子通信行业的发展，提高产业质量。因此木文对MEMS技术在电子通信产业中的价值进行探究，首先，对MEMS技术的概念进行介绍，然后简要谈谈MEMS技术在电子通信产业中的应用领域，并对其应用价值进行分析，希望对今后的电子通信产业的发展有所帮助。1MEMS技术的概念及特点1.1MEMS技术的概念MEMS技术就是微电子机械系统技术，是建立在纳米、微米技术之上的高科技技术，MEMS可以实现对纳米、微米材料的加工、设讯控制，同时也可以将电控系统、机械构件、光学系统集成为微型系统。MEMS主要是将微执行器、微传感器以及接U电路结介成一体的微型

3、机电系统，MEMS技术中结介微加工技术与的微电子技术制造工艺，具有UGA晶片键介技术、硅体微加工技术以及硅表而微加工技术，在实际的应用中，可以制造出价格低廉、性能优异的微型器件，如执行器、驱动器以及传感器等设备，是电子通信产业发展的一大进步。1.2MEMS技术的特点MEMS技术能够良好的完成电子机械系统没办法完成的工作，捉高系统的自动化、智能化，主要的原因是MEMS和传统的微电子加工技术相比，具有几个明显的特点：1.2.1MEMS的微型化MEMS技术的单位已缩小到微米、亚微米级。由其所制作的机件不仅体积小、效率高、惯性小、便携带、响应吋间短，并iL耗能问题得到人人改善。1.2.2MEM

4、S的集成化MEMS能够将不同敏感、不同功能的制动方向执行器和传感器集成化,还能与1C集成更加复杂的微型系统。1.2.3MEMS的具量产性MEMS技术的材料以硅为主，它可以在个硅片上同吋生产出成千上万个零配件，很大程度上节约了生产所耗的成本，更有利于批量的生产。1.2.4MEMS的材料先进MEMS技术的材料是以胃体硅为主胃体硅具有受力能力好、传热性好密度低以及高度的灵敏性等特点。2当前我国MEMS技术的发展现状在当下科技研发中MEMS技术主要应用在微型传感器、微型系统及微型执行器三个方向。2.1微型传感器方向微型传感器是MEMS技术之中用途最为广泛的。近几年来，MEMS传感器出现了电子化

5、消费的趋势，MEMS传感器逐步的渗透到了电子消费巾场，日前加速度传感器、流量传感器、压力传感器以及微机械陀螺等己经成功的推向电子消费市场。2.2微型执行器方向微马达、微型光学器件、微型阀等等都需要利用微型执行器提供给K各种运动和控制。2.3微型系统方向MEMS技术的研究最终tl标是高度集成化并且具奋定功能的微型系统，也是MEMS技术发展应用的必经之路微系统的发展方向是将光学和MEMS技术相结合，生物技术和MEMS技术相结合，射频或者微波通信技术与MEMS技术相结合，从而研宄出微型光机电系统、生物医学微系统以及射频微系统。2.3.1微生物芯片利用MEMS技术在硅片上制造出的微生物芯片，功

6、能齐个、成本低廉并iL携带方便它可以利用于实现样品的结果输出功能、检测、对比、处理、分析的集成化2.3.2微光机电系统微光机电系统成功的将微电r、微光学、微机械相结合是最富奋开发的潜力MEMS技术分支日前已有微光开关、微光扫描器、微光斩波器开发成功2.3.3射频微系统利用射频微系统技术有望把MIC实现高度集成，从而制作出执行、处理、传输、信息的采集于体的系统集成芯片SOC的可能这种技术但被开发实现，小仅具有价格便宜、可靠性高、重量轻、体积小等优点还可以进行产品批量化圆片级生产3MEMS技术在电子通信产业中的应用领域及价值分析MEMS技术主要在电子产品的执行器、传感器、内部系统等三方面得

7、到了比较成熟的应用。首先，执行器作为一种仪器的最终执行部分，在仪器加工中占有非常重要的地位，MEMS技术可以指挥执行器的操作，对精密仪器一些功能的实现进行控制，具体的产品冇微型马达和微型泵。其次，传感器是仪器将接受的外界信号转换为电流信息的主要元件，是电子产品精密仪器功能实现的重要技术手段，而传统的加工手段根本不可能制造出精密仪器中所使用的微型传感器，MEMS技术就不同了，它可以进行为微型化操作，批量生产中人量的微型传感器,如温度传感器，压力传