MEMS技术及其应用

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1、<程测狡新技术<同MEMS技求及曳盜用配系电％信息工程曇陀专坐班毅测狡10-2班修或赠名曇空啓号上裸教师起志华曙救祎2013耳12月20日东北石油大学课程报告任务书课程测控新技术题目MEMS技术及其应用报告主要内容1.MEMS、新型A/D或可编程器件技术概述；2.MEMS、新型A/D或口J编程器件具体实现技术；3.MEMS、新型A/D或可编程器件技术在某一个方面的应用；4.自己对这些技术应用特色、前景的综述和展望报告基本要求1.对所讨论的理论和技术的综述完整、合理，在某一方面的具体应用应该与相关技术特点有密切的联系；2.可选择三种技术屮其屮的任意一种或两种技术进行研究，对该技术的基本理论、具体

2、技术的发展历史、现状和发展前景进行讨论，要求必须有自己的综述见解和讨论；3.论文格式严格按样板要求完成，要求图文规范，其屮要求必须要有清晰的图件。论文报告不少于6000字。主要参考资料[1]丁衡高.微型机电系统研究文集.北京：清华大学出版社，2000.⑵郝永平，刘凤丽，刘世明.MEMS设计模拟与仿真系统应用[Ml.北京：国防工业出版社,2007.1:27-40.[3]严利人.微电子制造技术概论[M]・北京：清华大学出版社,2010.3:87-90.[4]孙以材，庞冬青.微电了机械加工系统(MEMS)技术基础[M].北京：冶金工业出版社，2009.3,13〜19.⑸雷茨.RFMEMS理论设计技术

3、[M].东南大学出版社，2005,12：15〜19.完成期限2013年12月20日上课教师赵志华路敬祎专业负责人曹广华2013年12月20日东北石油大学课程报告任务书课程测控新技术题目MEMS技术及其应用报告主要内容1.MEMS、新型A/D或可编程器件技术概述；2.MEMS、新型A/D或口J编程器件具体实现技术；3.MEMS、新型A/D或可编程器件技术在某一个方面的应用；4.自己对这些技术应用特色、前景的综述和展望报告基本要求1.对所讨论的理论和技术的综述完整、合理，在某一方面的具体应用应该与相关技术特点有密切的联系；2.可选择三种技术屮其屮的任意一种或两种技术进行研究，对该技术的基本理论、具

4、体技术的发展历史、现状和发展前景进行讨论，要求必须有自己的综述见解和讨论；3.论文格式严格按样板要求完成，要求图文规范，其屮要求必须要有清晰的图件。论文报告不少于6000字。主要参考资料[1]丁衡高.微型机电系统研究文集.北京：清华大学出版社，2000.⑵郝永平，刘凤丽，刘世明.MEMS设计模拟与仿真系统应用[Ml.北京：国防工业出版社,2007.1:27-40.[3]严利人.微电子制造技术概论[M]・北京：清华大学出版社,2010.3:87-90.[4]孙以材，庞冬青.微电了机械加工系统(MEMS)技术基础[M].北京：冶金工业出版社，2009.3,13〜19.⑸雷茨.RFMEMS理论设计技

5、术[M].东南大学出版社，2005,12：15〜19.完成期限2013年12月20日上课教师赵志华路敬祎专业负责人曹广华2013年12月20日东北石油大学课程成绩评价表课程名称测控新技术题目名称MEMS技术及其应用报告评语：成绩评定上课教师：赵志华路敬祎2013年12)-]10R目录第一章MEMS技术概述11」微机电系统（MEMS）的定义及组成11.1.1微机电系统（MEMS）的尺寸11.2微机电系统（MEMS）发展史11.3微机电系统（MEMS）理论基础21.4微机电系统（MEMS）的特点及前景2141MEMS的特点21.4.2MEMS的应用前景2第二章MEMS研究的现状与发展方向32.1微

6、机电系统（MEMS）器件32.2微机电系统（MEMS）的具体应用领域4第三章MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用53.1微机械红外热电堆探测器53.2热释电非制冷红外探测器5总结7参考文献8MEMS技术及其应用摘要MEMS技术是采用微制造技术，在一个公共硅片基础上整合了传感器、机械元件、致动器（actuator）与电子元件。微电子机械系统，它属于多学科交叉的新领域，是融合微屯子与精密机械加工的技术，指毫米级下的可控制、可移动微型机电装置，是集微型机构、传感器信号处理、控制等功能于一体的、具有信息获取、处理和执行等多功能的系统。可以预见,MEMS的发展对科学技术和人类生活产生革命性的影响，并可

7、望形成类似于微电子的新产业。本文详细介绍了MEMS技术的概念、尺寸、特点及发展史，从而对MEMS技术有了初步的了解。随后又介绍了该技术的相应产品、技术分类和它的应用前景。MEMS技术是测控行业的新技术，但其有着非常广阔的前景，并H被越来越多的产品所接受。研究了口前其应用比较成功的例子——非制冷红外探测器，介绍了红外热电堆探测器的工作原理，展示了微机械红外热电堆芯片的基木结构，并将封闭结构和悬梁结构