透射电镜的基本原理及使用

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1、电子枪聚光镜分阴极、阳极和栅极，发射电子束功能，功能类似于光学镜的光源。透射电镜的基本原理及使用调校系统使电子枪、各级透镜和荧光屏中心轴对齐。照明系统束取向调整器及合轴消像散器成像系统电磁透镜，功能类似于光学镜的聚光镜。投影镜中间镜物镜样品室物镜（o）、中间镜（i）和投影镜（p）的功能一样，放大倍数M=Mo*Mi*Mp1*Mp2。物镜的好坏决定电镜分辨本领，是电镜的心脏。相当于光学镜的目镜。显示器照相室观察室观察记录系统显示电镜工作状态，以利于操作。图1放射电子显微镜基本结构原理图（注：除上述部分外，电镜还包括必须的冷却和真空系统）第5页共5页图2电镜和光镜原理对比图

2、第5页共5页应用举例：JEM-100CXⅡ透射电镜操作说明一、开机程序1、首先打开房间空调，冷却循环水房温度21度，操作室25度2、开启冷却水循环装置，一个独立的小的控制器，先将开关打至ON，再将按下POWER键3、启动稳压电源，稳定于220V；查看电源箱供电指示灯亮4、用钥匙启动主机，从OFF档位旋到START位，松开后钥匙自动回到ON位置。仪器自动抽真空，等待约40分钟。5、直至DP绿灯亮，HIGH绿灯亮，READY绿灯亮（若不亮的话，将LENSLIGHT打至ON档位）。二、电子枪合轴（1-3合轴）1、确认READY绿灯亮2、把样品拨出，物镜光栏拨出至0档位3、加

3、高压：按下HT键后，依次按下40-60-80-100KV键，并注意观察束流表是否正常，每次都要等电流表显示稳定之后再进行下一步，一般调到80KV就行了。4、加灯丝：将FILAMENTEMIISSION旋钮缓慢旋至锁定位置5、一般在SCAN（5300倍）条件下调节，调节CONDENSER钮，得到光斑。6、SPOTSIZE调到3档，调节CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑，然后用左右ALIGNMENT：TRANS（小的）将光斑拉至最中心位置（中心位置有一黑点）。7、SPOTSIZE调到1档，调节CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑，然后用GUNALIGNMEN

4、T：TRANS（X、Y）将光斑拉至中心位置。8、再重复6、7步骤，使束流不偏离中心。三、调灯丝相（每次开机都需要检查）1、在SCAN模式下，SPOTSIZE调到1档2、将FILAMENTEMIISSION旋钮稍稍往回调，到看到灯丝欠饱和像，即车轮像（鱼眼像），若车轮像不对称，则进行下面调节。3、缓慢旋转GUNALIGNMENT：TILT（X、Y），使灯丝像对称。4、然后调节FILAMENTEMIISSION旋钮至灯丝饱和（即刚好全亮，没有阴影），并锁定该位置。四、粗对焦（该步很重要）1、关灯丝（FILAMENTEMIISSION旋钮至OFF）后，插入样品，插入物镜光栏

5、（2档）2、开灯丝（FILAMENTEMIISSION旋钮至ON）后，放大光斑至满屏（以免烧坏铜网）3、找到样品，并选中一目标为参照4、将IMAGEWOBBLER打至ON，此时看到样品会有一定的晃动，调节FOCUS旋钮（有大中小三个，一般只用到中和小）至图像清晰没有重影。五、聚光镜对中调节1、关灯丝后，拨出样品，拨出光栏，开灯丝，缩小光斑，检查是否在中心位置，第5页共5页2、在SCAN模式，SPOTSIZE1档情况下，将CONDALIGNMENT打到ON，然后下面一WOBBLER键打到X，以调节光斑重合，同样的方法进行Y轴对中调节，调节完毕之后打到中间OFF档。3、将

6、IMAGEWOBBLER键打到ON，调节IMAGEWOBBLERA、B旋钮至重合。六、电流中心调节（此步调节有一定的难度）1、插入样品，插入光栏，找到一样品做为参照物，调节时放大倍数小于5万倍2、用目镜观察，聚焦，找准参照物，用FOCUS调焦至最清晰3、快速反复转动FOCUS旋钮（以最清晰位置为中心前后旋转），此时观察参照物样品的情况，如有放大缩小的情况（看到样品是以某点为中心在旋转）那就是正常的，若是样品有左右或者上下移动的现象，就需要调节ALIGNMENT的大旋钮，TILT钮直至正常。七、电压中心调节1、在第六步的基础上，放大倍数（大于5万倍）2、找到一参照物，调

7、焦至最清晰3、HVWOBBLER置于ON，若参照物不偏离中心而四周同心振动，则电压中心良好，反之，若参照物有漂移，则用左右ALIGNMENT：TILT调节八、光栏的调节1、聚光镜光栏调节：判断光栏是否在中间位置，调节CONDENSER时，光斑不在中间，放大时会有很大阴影（电子束被东西挡住），移动样品时也没有改变，此时可以断定是光栏位置不正确，通过调节光栏上两个旋钮，使光栏回到中心位置。2、物镜光栏调节：打开FUNCTION：SADIFF（控制台D区，与SCAN一排的一个按钮），调节SA/HDDIFFRACTION：CAMERALENGTH（控制台B区