SiN膜最佳折射率研究.pdf

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1、SiN膜最佳折射率研究浙江贝盛光伏股份有限公司SiN膜最佳减反效果折射率u电池的最佳减反射效果折射率：~2.0n0=1.0AirSiNARCnarc=?当narc2=n0xnsi时，反射最小CellSinsi=3.9→narc=2.0u组件后最佳减反射效果折射率：~2.3Airn0=1.0Glassnglass=1.4当narc2=nevaxnsi时，反射最小EVAneva=1.4ModuleSiNARCnarc=?→narc=2.3Sinsi=3.9Whichoneisbetter?ConfidentialStaffOnl

2、ySiN膜折射率增大导致什么？uSiN膜的折射率随着NH3/SiH4比的增大而减小。折射率增大，在短波段的反射率降低，但光吸收系数增大，而光吸收导致的光损失>反射带来的光增益；u高折射率的SiN膜不适合作为减反膜，文献结论是折射率2.0左右是最合适的。n1nn1>n2>n3>n42n2≈2.1n3n4DefectpassivationofindustrialmulticrystallinesolarcellsbasedonPECVDsiliconnitrideSolarEnergyMaterials&SolarCells72

3、(2002)231–246ConfidentialStaffOnlySiN膜最佳钝化折射率u右表是不同折射率SiN膜的物理性质，FTIR中Si-H为表面钝化值，N-H为体钝化值，值越大表示钝化效果越好。lSiN-Ⅰ：折射率为2.30，表面钝化最好，体钝化较差；lSiN-Ⅱ：折射率为2.17，表面钝化较好，体钝化最好；lSiN-Ⅲ&Ⅳ：折射率<2.05，钝化较差，减反效果好。ONCOMBININGSURFACEANDBULKPASSIVATIONOFSiNx:HLAYERSFORmc-SiSOLARCELLSProceedin

4、gs29thIEEEPhotovoltaicSpecialistsConference,NewOrleans(2002)158ConfidentialStaffOnlySiN膜最佳钝化折射率u右表是SiN-Ⅰ&Ⅱ的IQE图；lSiN-Ⅱ在短波段的响应明显高于SiN-Ⅰ，400nm处高~30%，表明高折射率的SiN膜在短波段的光吸收较为严重。u文献的结论归结如下：SiN膜最佳钝化折射率位于2.1~2.2之间。高折射率区折射率中间区低折射率区折射率2.22.11.表面钝化好；1.钝化效果好；1.钝化效果差；2.体钝化差；2.减反

5、效果较好。2.减反效果好。3.短波光吸收严重。ONCOMBININGSURFACEANDBULKPASSIVATIONOFSiNx:HLAYERSFORmc-SiSOLARCELLSProceedings29thIEEEPhotovoltaicSpecialistsConference,NewOrleans(2002)158ConfidentialStaffOnlySiN膜最佳折射率u理想SiN膜：good减反效果+good表面钝化+good体钝化u结合两片文献，综合考虑减反及钝化效果：SiN膜最佳折射率为2.1左右。折射率

6、2.22.1ConfidentialStaffOnlyThanks浙江贝盛光伏股份有限公司