color filter教战手册

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1、COLORFILTER前言：彩色液晶顯示器挾其耗電量低無輻射，全平面顯示及佔用空間小等優勢，以逐漸有取代傳統CRT顯示器的趨勢，顯示器的色彩表示，需要經由色相及明暗的控制彩色液晶顯示器即包含：01.階調表示的液晶Panel，其功能類似光匣可控制明暗。02.紅.綠.藍三原色的濾光板，將白色光吸收部份波段而形成色源。03.發光或環境入射(反射式)的外部光源。此種組合是現有泛用模組的特點，和一般常用的彩色電視陰及射線管（CRT）不同之處在於CRT的發色是經電子槍發射電子光束激發CRT內表面配列的紅綠藍三種螢光體，兩種顯示器

2、的相同處是顏色的表示都市利用“加法混合法”三種原色做近接配置使肉眼不能分辨，經任意的組合即能顯示各種顏色。彩色濾光片之結構：彩色濾光片是在玻璃基板上製作出許多紅綠藍的圖素，每個圖素對應液顯示器上的一個畫素當白光通過這些畫素後變成紅綠藍光而構成三原色光。其結構為玻璃基板上製作遮光層即為BM(BlackMatrix)層，再依序製作上具有透光性紅綠藍三原色之彩色濾光膜層然後在濾光層上塗佈一層平滑之保護層(OverCoat)最後濺鍍上透明導電膜(L-ITO)，黑色矩陣的作用是在分隔彩色層增進色彩之對比性遮光保護TFT元件，避

3、免光電流產生，保護層為避免彩色層在後續製程中受高溫影響而受損，並可將表面平整化，L-ITO則作為驅動電路之電極。14CF流程一．BM製程：01.穿透式：Cr玻璃基板洗淨→PR塗佈(正型光阻)→曝光→顯影→蝕刻→剝膜02.反射式：反射板(TiO2+AP+In2O3)玻璃基板洗淨→PR塗佈(負型光阻)→曝光→顯影二．R.G.B製程：01.穿透式：R塗佈(負型光阻)→曝光→顯影→水洗01.穿透式：G塗佈(負型光阻)→曝光→顯影→水洗01.穿透式：B塗佈(負型光阻)→曝光→顯影→水洗02.反射式：R塗佈(負型光阻)→曝光→顯

4、影→水洗G塗佈(負型光阻)→曝光→顯影→水洗0　　　　　　　B塗佈(負型光阻)→曝光→顯影→水洗三．OverCoat製程：01.穿透式：OC塗佈02.反射式：OC塗佈四．CFOC完成品檢查五．ColorFilter流程：BMpatternfinish→Crglasscleaning→Crphototresistcoating→Crexposure→Crdeveloping→Cretching→Crstripping→Rpatternfinish→Rphotoresistcoating→Rexposur→Rdevelo

5、ping→Gpatternfinish→GphotoresistCoating→Gexposure→Gdeveloping→Bpatternfinish→Bphotoresistcoating→Bexposure→Bdeveloping→OverCoating→Inspection→Packing14CF常生產的產品與流程一．ISTN流程(內反射)，例如A971.A833反射板(AP)→受入水洗→O.CSpin二．MetalPattern流程(COG)，例如7571Cr/CrOx或Cr基板水洗→C/CrOx或CrPR

6、Spin→曝光→顯影→蝕刻→剝膜三．穿透式+反射式流程，例如(FR007)Cr/Crox基板水洗→PRBMSpin→曝光→顯影→蝕刻→剝膜→AP→APPR→曝光→顯影→蝕刻→剝膜→鍍IN2O3→R.G.B製程→O.C→L-ITOAPSlit：APPR→曝光→顯影→蝕刻→剝膜四．穿透式玻璃，例如FT010.A389五．反射式玻璃，例如A94314CF製程原理-受入水洗站受入水洗：玻璃於Spin前皆須經受入洗淨清洗玻璃。一．玻璃表面潔淨度檢測：利用脫脂棉花棒沾拭指示劑型號50、52、54三種.分別畫出三條測試線,如表面潔

7、淨度OK會形成擴散狀，反之則NG，最低標準為型號50未達50號則立即通知工程師處理二．重點確認：01.基板種類02.U1-U7區顯示之數據是否達到設定值03.調配LGL與純水比例為100：304.籃具最上層須使用檔板，以避免身體及手指碰觸玻璃造成產品　膜面刮傷05.確認型號是否正確、有無混料及導角方向是否正確06.確認流程卡之基板數量與實際數量相符07.確認基板厚度及正反面08.外觀檢查破裂刮傷污染等三．入料前的基版材質區分(CS-S-4133)：01.Cr/Crox：背面為黑色02.AP全反：背面微黃色03.Cr：

8、較亮偏白鏡面04.AP半透：可看穿背面景物05.AL-nd：介於Cr跟AP之間14顯影站(CR)顯影：顯影液KOH將曝到光的光阻去除，顯出所需要之圖形。一．顯影液滴定：01.100ml純水加入錐形瓶(1)02.取10ml顯影液倒入錐形瓶(1)中03.滴2滴酚太加入錐形瓶(1)中，此時為紅色04.使用HCL滴定液之滴定管滴定，直到恢復原來的顏色(