椭偏仪系列，针对研发领域薄膜、材料分析

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1、椭偏仪系列，针对研发领域薄膜、材料分析光谱范围:190-2500nm　　SENresearch宽波段光谱椭偏仪系列针对满足现代研究的需求，为任何应用都能够提供出色的测量速度和精确度。该系列光谱椭偏仪能够测量薄膜厚度，折射率，吸收系数，并能够描述材料性质，如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。　　SENresearch光谱椭偏仪能够分析并不理想的样品，如退偏效应，非均匀样品，散射和背板反射。SENresearch由SpectraRayII软件操作,完善的软件能够测量数据，建模，拟合并作出椭偏测量、反射/透射测量

2、的结果报告。research系列各型号的光谱范围:　　步进扫描分析器工作模式，超消色差单色仪，电脑控制起偏器，UV-VIS波段快速二极管/CCD阵列探测器和NIR波段干涉仪调制探测器能提供快速测量和高信噪比，并为任何测量在全部psi,delta范围（0-90deg(psi)and0–360deg(delta).）都提供最高的测量精度。　　SENresearch系列光谱椭偏仪能够测量反射光偏振状态，修正由于非均匀样品、粗糙表面、聚焦角度所导致的退偏效应。并能够分析各向异性样品和材料。　　SENTECH先进的地貌图扫描选项，支持对复杂多层

3、膜样品在全波段快速测量并分析其均匀性（最小每点5秒）。数据可按照设定的地图图案表现为2D-,3D-或等高线图，并能够进行全面统计分析。　　SENresearch能够测量反射率、透射率。光度测量数据可通过SpectraRayII软件分析。可选自动角度计，提供更大范围入射角度(20-90deg)。可选低温保持器用于温度控制测量。SENresearch技术指标:光谱范围:(*括号中表示可扩展光谱范围)SE800:(290)350–850nmSE850:(290)350–1700(2500)nmSE800DUV190–950nmSE850DU

4、V190–1700(2500)nmSE850Z(290)350–1700nm起偏器/分析器:电机驱动，步进扫描分析器操作模式补偿器:超级消色差补偿器光源:Xe灯,氘灯,卤素钨灯(UV-VIS),卤素钨灯(NIR)探测单元:二极管阵列/CCD阵列(UV-VIS),FT-IR光谱仪(NIR)样品校准:自动对准镜，高精度校准高度、倾斜度样品尺寸:最大300mm软件:SpectraRayII选项:角度计:电机驱动Mapping地貌图扫描:电机驱动，从50x50mm2至300x300mm2微细光斑:200µm光斑直径，或可定制更小值低温保持器4

5、K–700K液体膜测量单元