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《用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统_徐祖华》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、.第17卷第3期南华大学学报(理工版)Vd17NO.321刀3田lunive&D叉ti年9月Jo明司ofN吐ua面班弘诵缪少唱乡五on么刃3~文章编号:1《】为一737入X]3-一X()03印5903用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统,,,徐祖华王彦雷运喜朱慧玲,(南华大学电气工程学院湖南衡阳42101),,摘要:设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统采用三菱P声iew触摸屏砚和Eas具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能.文中介绍了p珑控制系统硬件与软件结构,以及对靶单元实现闭环控制,获得稳定靶电
2、流情况.,,,:关键词P以:硬件结构软件结构电流闭环控制二:中图分类号TM92文献标识码BTheControlSystemofaMagneticScat6ringVacuum一reazeTlireetagtFilmCoatingMachineRelidbyPLC一,,,XtJZuhuaWANGYanLEIY皿城ZHtJHul七ng,,,,(&holofElectriC滋lh硕nen卫19NaldluaUniveoityHengyH42101。血a)ang~c:sse,eonsso11leeA饭由旧tWith呱ts
3、ubihiP比andEasyViewtouchthetrolytemf坦gltirenenllvue一遗etcec〕lle,ns。,汉习ugaculnd此t雌filinoatu唱hinansetlte玲cotIDIpIDces卫w~删一.之givealann阴dpmtionincbr已永docc5Paperintnxlucesthesoftw此出ldtecase~uls伽eseliroe〕ssteeo一ene-thhanlware加tesfthPU交on伍1yemaswelasthlsei几nito的1oftht
4、ar,ws·gettl‘chatihata毛etcnttha~tabing~l:seseenteo一eeon旋ywo月sP忧:hai月tru:softwaretru:l*i二ult加l~姗恤ure真空镀膜机是一种直流磁控反应溅射镀膜电磁谐波干扰源,也使得运行可靠性变差.三靶镀,,-机主要应用于太阳能真空管的制造过程可以通膜机的控制系统以抗干扰强的三菱PLc和Easy、,,,工艺参数View过改变靶材在工件表面上镀制纯金属触摸屏为核心能够完成系统的精确控制、.膜合金膜以及多种金属的化合物膜三靶镀膜机实现可视化操作,
5、保证产品质量,提高生产效率.,真空室内有三种靶材通过修改工艺运行程序中三靶镀膜机控制系统除了具有手动调节与自动运,、,:相应的参数可灵活地选择单靶两靶和三靶的工行功能以外还具有(1)控制电机时的诸多保护,.,作方式是单靶镀膜机的升级替代产品原控制电功能直流电机的转速能够在触摸屏上设置;(2)故,,路是以单片机为核心使用了大量的继电器与接障报警功能并显示报警时间与原因;(3)停电后,,触器配线复杂造成镀膜机电气控制系统故障较确保镀件的报废率最小等功能.多,维修困难.另外,真空管生产现场存在大量的:2仪)3一03一收
6、稿日期31作者简介:徐祖华(l盯1一),男,湖北洪湖人,南华大学电气工程学院讲师,主要从事自动控制技术的研究.南华大学学报(理工版)2田3年9月否安装.图1(b)中工件旋转与靶旋转电机调速控1控制系统的硬件结构,,制通过改变触摸屏上转速的设定值即改变晶闸,11电气控制系统管相应的导通角来改变电压实现调速.PLC与接电气控制系统由主电路和PLC控制系统两,触器之间由中间继电器连接目的是保护Pl〔的,.1N.、、部分组成如图所示H￡控制电路由三菱I戈输出端口主电路由真空单元流量控制单元旋,.,一、一4、一4ew、、3
7、2MR以ADFxDA以及E明yVi转控制单元靶电源接触器等组成其中真空单.,M巧的型触摸屏等组成1r棍N-;其中图(a)元由两组真空测量计构成流量控制单元采用北,N一一485BD也可采用F棍邓ZBD用于H刀与上位京七星华创电子生产的DO7122ZM型高精度质.,PC机之间的通讯用户可以根据实际情况选择是量流量控制计FX犷485BDFX犷32MR三cViewFX州一323IF触摸屏,l、利针了、、比汉占王寸!、.‘M’MM’‘M‘KM,卜Y八一日J尸,阅仕、!丫七下上厂一吃‘lwe1LKM滩廿斗义矛扩才执州日1妙少
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