基于PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计_刘进志

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1、第29卷第1期煤矿机械Vol29No12008年1月CoalMineMachineryJan.2008基于PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计刘进志,郝长生,刘希太(石家庄铁道学院机械工程分院,石家庄050043)摘要:真空溅射镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景。由于采用继电器-接触器的镀膜机存在一些缺陷和不足,设计了基于PLC的真空溅射镀膜机。几年的实践证明:改进后的镀膜机工作效率有很大提高,设备维修率也大大降低,

2、它为同类系统的设计提供了参考。关键词:继电器-接触器控制;PLC控制;真空溅射镀膜机中图分类号:TP39文献标志码:A文章编号:1003-0794(2008)01-0179-03DesignofControlSystemonVacuumSputteringPlatingMachinewithProgrammableLogicControllerLIUJin-zhi,HAOChang-sheng,LIUXi-tai(MechanicalEngineeringCollege,ShijiazhuangRailwayIn

3、stitute,Shijiazhuang050043,China)Abstract:Thetechnologyandequipmentofthevacuumsputteringcoatinghavetheextremelybroadapplicationandthedevelopmentinthefuture.Becausetheplatingmachinewiththerelay-contactcontrolsystemhassomedefects,theplatingmachinewithprogrammable

4、logiccontrollerisdesigned,severalyearspracticeproves.Theefficiencyoftheplatingmachinethatisinnovatedimprovesgreatly,anditsmaintenanceprobabil-itydecreasesgreatly.Italsoprovidesreferenceforsimilarsystem.Keywords:relay-contactcontrol;PLCcontrol;vacuumsputteringpl

5、atingmachine0引言镀膜工艺在各行各业中得到广泛应用,并且在4几个问题的处理计,抗干扰能力强,工作可靠性高,集中或分散布置在本装置的设计过程中曾遇到以下几个问题,可灵活掌握。该装置在工农业生产的供用电系统中并合理进行了解决:具有广阔的应用前景。(1)对泓格I-7000系列模块进行设置时,必须参考文献:先将INIT*和GND短接后再上电,对模块地址、波[1]组态王IO驱动帮助[C].北京亚控科技发展有限公司,2004.[2]匡晓艳,姚晓红.牛顿7000模块在对流换热系数自动测试中的应特率、采集数据形式和

6、通讯端口等进行设置,然后关用[J].四川工业学院学报.2003(1):62-63.掉电源,断开INIT*和GND之间的连接,再给该模[3]组态王KINGVIEW6.5使用手册[K].北京亚控科技发展有限公块重新上电后检查设定参数是否正确。司,2004.(2)I-7017模块用于采集模拟电流量时必须在[4]袁秀英.组态控制技术[M].北京:电子工业出版社,2003.端口并联125的电阻,否则不能正确采集数据。[5]弭洪涛.可编程序控制器原理及应用[M].北京:中国水利电力出(3)主接线中的3个断路器不可同时处在合闸版

7、社,1999.[6]胡学林.可编程序控制器应用技术[M].北京:高等教育出版社,位置,即QF3要等QF1或QF2跳闸后方能进行合2001.闸。为了更准确可靠,此相互之间的闭锁关系用断[7]王俭,龙莉莉.建筑电气控制技术[M].北京:中国建筑工业出版路器的辅助触点来实现。社,1998.5结语[8]刘文贵,王希鲁.橡胶坝检测系统的设计与开发[J].水电自动化基于组态控制技术的备用电源自动投入装置在与大坝监测,2006(6).实验室中成功完成了调试,并在实训基地模拟变电作者简介:刘增良(1959-),河北清苑人,安徽铜陵

8、学院电气工站中进行了试运行,取得了良好的效果。该装置不程系副主任,教授,毕业于河北大学计算机信息管理专业,主要研究仅完成了全部传统的备用电源自动投入功能,且可方向为计算机控制与自动化技术,电话:0562-5882087,电子信箱:真实、准确、客观地反映一次系统的实际运行状态。hbczlzl@163.com.实现了远程监控,实时采集、显示、处理、

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