气压对vhf-pecvd制备的μc-si：h薄膜特性影响的研究

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1、气压对VHF-PECVD制备的μc-Si：H薄膜特性影响的研究本文由wujinfeng05贡献pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。维普资讯http://www.cqvip.com第３卷第３期　３２ＯＯ４年６月　人工　晶体　学　报　Ｖ１３　Ｎｏ３０．３．　ＪＲＮ　０　ｓ　ｊ唧ＯＵＡＬＦ１ｒＩ１　ＣＹＳＡＳＣＲＴＬ　Ｊｎ２ｏ　ｕｅ．０４气压对Ｖ－ＥＶＨＦＰＣＤ制备的　－ｉＨＳ：　薄膜特性影响的研究　张晓丹，朱张德坤，　锋，颖，国付，赵侯魏长春，建，孙　

2、任慧志，薛俊明，耿新华，熊绍珍　（南开大学光电子所，天津３０７）００１　摘要：文主要研究了用ＶＦＰＣＤ方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明：积速率随反应气　本Ｈ－ＥＶ沉压的增大而逐渐增大；光敏性（电导／电导）光暗和激活能测试结果给出了相同的变化规律；傅立叶红外测试、ｘ射　线衍射和室温微区喇曼谱的结果都表明了样品的晶化特性；通过工艺的具体优化得出了器件级的微晶硅材料。　关键词：甚高频等离子体增强化学气相沉积；微晶硅薄膜；叶变换红外光谱；氢化傅立ｘ射线衍射；区喇曼光谱　微中图分类号：Ｋ１

3、Ｔ５　文献标识码：　Ａ文章编号：０－８Ｘ２０）３４４０　１０５（０４０－１－０９０５Ａ　ｔｄ　ｎｔｅＩｆｕｎｅｏ　ｐｓｔｎＰｅｓｒ　ｎｔｅＰｏｅｔｓｏ　ｅｓｕｙｏ　ｈ　ｎｅｃ　ｆＤｅｏｉｏ　ｒｓｕｅｏ　ｈ　ｒｐｒｅ　ｆｔ　ｌｉｉｈｐｃＳ：Ｈ　ｉ　ａｒｃｔｄｂ　—ｉＦｌＦｂｉａｅ　ｙＶＨＦ—ＥＣＶＤ　ｍｓＰＺＮＧ　ｉｏｄｎ，ＺＨＡＸａ－ａＨＵ　ｅｇ，ＺＡＯＹｎＦｎＨ　ｉｇ，ＨＯＵ　，ＷＥ　ｈｎ－ｈｎ，ＳＮ　ｉｎ，ＩＣａｇｃｕＵＪａ　ＺＡ　－ｕＨＮＧＤｅｋｎ，ＲＮ　ｉｈ，ＸＵＪｎｍｉｇ，ＧＮＧＸｉ－

4、ｕＥＨｕ－ｉｚＥ　ｕ－ｎＥ　ｎｈａ，ＸＩＮＧＳａ－ｈｎＯ　ｈｏｚｅ　（ｎｔｕｅｏ　ｈｔｅｅｍｉｓａｋｉｎｖｒｔ，Ｔ衄ｊ　００１ｈｎ）Ｉｓｔｔｆｏ－ｌｔｅ，ＮｎａＵｉｓｙｊｉ３０７，Ｃｉａ　ｉ　Ｐｏｅｒ　ｅｉｎ（∞矗５Ｎｍｎ２Ｏ）Ｒｅ　　ｏｌＯ３　￣Ａｈ鼬耐：ａｌｓｐｅａｅ　ｔｉｅｅｔｅｏｉｏ　ｒｓｕｅｂ　ＨＦＰＣ　ｒ　ｕｉｄ．ｈ　ｅｅｒｈｒｓｌ　Ｓｍｐｅ　ｒｐｒｄａ　ｆｒｎ　ｐｓｔｎｐｅｓｒ　ｙＶ－ＥＶＤｗｅｅｓｄｅＴｅｒｓａｃ　ｅｕｔｄｄｉｔｓｓｏｄｔａ　ｈ　ｅｏｉｏ　ａｅｉｇａｕｌ　ｎａｃｄ

5、ｗｔ　ｈ　ｎｒａｅｏ　ｅｏｉｏ　ｒｓｕｅｔｅｉｅｔａ　ｈｗｅ　ｔｔｅｄｐｓｔｎｒｔ　ｓｒｄａｌｅｈｎｅ　ｉｔｅｉｃｅｓ　ｆｄｐｓｔｎｐｅｓｒ；ｈ　ｄｎｉｌｈｉ　ｙｈｉｃｒｇｌｒｉｉｄｃｔｄｂ　ｈ　ｅｕｔｏ　ｈｔｅｓｔｉ　ｎ　ｃｉｔｎｅｅｇ．Ｔｅｒｓｌ　ｆＦｏｒｒｎｎｆ　ｅｕａ　　ｉａｅ　ｙｔｅｒｓｌ　ｆｐｏｏｎｉｖｔａｄａｔａｏ　ｎｒｙｈ　ｅｕｔｏ　ｌｕｉ　ａ　０ｓｎｓｓｉｙｖｉｓｅｍｌｉｆｒｄ，ｒｙｄｆａｔｎａｄｒｏｔｅａｕｅｍｉｒ－ｍａ　ｐｃｒ　ｅｎｔｔｄｔｅｃｙｔｌＴｔｎｏ　ｅｎｒｅＸ－ａ

6、　ｉｒｃｉ　ｎ　ｏｍ　ｅａｏｍｐｒｔｒ　ｃｏＲａｎｓｅｔｄｍｏｓｒｅ　ｈ　ｒｓｌ．ｉ　ｆｔ　ａａａｉｏｑｈｓｍｐｅＤｖｃ　ｇａｅａｌ．ｅｉｅｒｄ　ｍｉｒｃｙｔｌｎ　ｍａｅｉｌｅｅｏｔｉｅ　ｈｏｓ　ｔｅｏｔｚｔｎｆｈ　ｅａｌｄｃｏｒｓｌｅａｉｔｒｓａ　ｗｒ　ｂａｎｄｔ￣ｕｈｈ　ｐｉａｉ　ｏ　ｔｅｄｔｉ　ｍｉｏｅｐｒｎｅ８．ａａ￣ｔｒ　Ｋｅ　ｏｄ：ｅｙｈｓ　ｒｕｎｙｐｓａｅｈｎｅ　ｈｍｃｌａｏ　ｅｏｉｏＶＦＰＣＤ）ｙｒｅａｄｙｗｒｓｖｒ　ｉｆｑｅｃ　ｌｍ　ｎａｃｄｃｅｉ　ｐｒｐｓｉｈｅａａｖｄｔｎ（

7、Ｈ－ＥＶ；ｈｄｇｎｔ　ｏｅｍｃｏｒｔｌｅｓｉｎ（－ｉＨ）ｌｒｒｔｎｆｒｉｒｅ（ＨＲ）ｓｅｔｓｏｙ－ｙｄｒｃｏ；ｉｒｙａｉ　ｌｏ　ｃＳ：；Ｆｏｉ　ｒｓｍ　ｎａｄＦｃｓｌｎｉｃｕｅａｏｆｒｐｃｏｃｐ；Ｘｍ　ｉａｔｎ　ｒｆｉｉｃｏＲａｎｓｅｔｓｏｙｒｒ－ｍａ　ｐｃｒｃｐ　ｉｆｏ１引言　　　我们知道氢化非晶硅（．ｉ）口Ｓ：薄膜在太阳能电池中已占有一席之地，Ｈ同多晶硅材料相比，其优点是生长　温度不是很高，但其有一个难克服的缺点就是光致衰退效应（Ｗ）ＳＥ。由于此效应的存在，使得非晶硅的稳　收稿日期：０３１－

8、　２０．１５０基金项目：国家“７”９３研究项目（０Ｇ００２２２Ｇ００２２３；Ｎ．２００８０￣２０ｏ８０）教育部重点项目（ｏ０１）“６”目（０２０３３６），Ｎ．６和８３项２７Ⅳ．２０２１资助　０作者简介：张晓丹（９３）女，１７．，吉林省人，博士。Ｅｍｉｘｚ０＠ｅｕⅢ　－ａ．２０ｙ．ｌｄ０－ｏ维普资讯http://www.cqvip.com第３期　张晓丹等：气压对ＶＦＰＣＤ制备的ｐ．ｉＨ－ＥＶ．ＳＨ薄膜特性影响的研究ｃ：４５１　定性成为人们一直在研究的课题，但直到现在，还没有很好的方法能够解决这个难