薄膜材料的制备与表征方法研究进展

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1、------------------------------------------------------------------------------------------------薄膜材料的制备与表征方法研究进展第26卷第2期2012年6月上海工程技术大学学报JOURNALOFSHANGHAIUNIVERSITYOFENGINEERINGSCIENCEVol．26No．2Jun．2012文章编号：1009－444X（2012）02－0125－04李明a，宓一鸣b，言智a，季鑫b（上海工程技术大学a．材料工程学院；b．基础教学学院，上海201620）摘要：材料的表面与基体内部在结构和

2、性能上都会存在差异，这就要求对薄膜材料的制备及其表征方法有基本的了解．分析了薄膜材料的分类、常见制备方法及其原理，对材料表面的组分、结形貌等分析方法进行了归纳总结，并利用XRD，SEM，EDAX等进行逐项表征，获得了完整的构、材料表面信息，得出了薄膜材料的工艺制备，采用磁控溅射的方法较好．关键词：薄膜分类；制备；分析方法；薄膜分析技术应用中图分类号：TB43文献标志码：AResearchProgressofPreparationandCharacterizationofThinFilmMaterialsLIMinga，MIYi-mingb，YANZhia，JIXinb（a．CollegeofM

3、aterialsEngineering；b．CollegeofFundamentalStudies，——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------ShanghaiUniversityofEngineeringScience，Shanghai201620，China）Abstract：Therearedifferencesbetweenthesurfaceandthematri

4、xofmaterialsinstructuresandproperties，whichrequiregoodunderstandingofpreparationandcharacterizationmethodsofthinfilms．Theclassificationandcommonpreparationmethodsofthinfilmmaterialsandtheprincipleswereanalyzed，thecomposition，structure，morphologyandotheranalysismethodsofmaterialsurfaceweresummarized．

5、ByusingX-raydiffraction（XRD），scanningelectronmicroscope（SEM）andenergydispersiveanalysissystemofX-ray（EDAX），completeinfor-mationofmaterialsurfacewasobtained．Theresultshowsthatindustrialpreparationofthinfilmbymagnetronsputtingisbetter．Keywords：filmclassification；preparation；analysismethod；applicationo

6、fthinfilmanalysistechnology科技的发展对材料的要求越来越高，一种新材料的问世对社会的影响将非常巨大．考虑到新材料的获得一般都不太容易，而且其价格不菲，由此，研究附着在基体表面的薄膜材料就很有意义．薄膜材料可以看成表面材料，一般都非常薄，因此，薄膜材料的制备及其表征方法与材料表面研究有着非常收稿日期：2011－06－23基金项目：上海工程技术大学研究生科研创新资助项目——————————————————————————————————————-----------------------------------------------------------------

7、-------------------------------（2011yjs15）作者简介：李密切的联系．1薄膜材料的分类薄膜材料［1］不仅具有优越的力学、热学等性能，而且还具有光电、压电、磁性等特定功能，并且明（1983－），男，在读硕士，研究方向为薄膜材料加工工程．E-mail：limingmaileyou@163．com·126·上海工程技术大学学报第26卷成本较低，所以广泛应用于生产和生