基于lcos的三维光场合成与制备微纳结构的立体光刻的研究

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1、基于LCOS的三维光场合成与制备微纳结构的立体光刻的研究中山大学硕士学位论文基于LCOS的三维光场合成与制备微纳结构的立体光刻的研究姓名：吴琦申请学位级别：硕士专业：光学指导教师：周建英20108>0609基于LCOS的三维光场合成与制备微纳结构的立体光刻的研究硕士生：吴琦指导教师：周建英教授专业：光学摘要三维光学图像的合成对于生物科学，医学，军事，三维光学传感，微加工以及显微技术等领域具有重要的意义。但是，目前很多的三维成像都不是真三维的显示，要想实现真三维的显示可以借助于全息法。本论文以实现三维成像为目的，构建了一套基于LCOS的

2、全息成像系统，并且已经成功实现了断层的三维图像的再现。由于LCOS的位相分布可实时改变，本方法在实现三维显示、生成全息光镊和制备三维光子器件等光学领域，具有很高的应用价值。论文共分四章介绍了我的研究情况：第一章，简要介绍了三维光场合成的意义和方法，以及三维立体光刻技术的发展情况。第二章，介绍了空间光调制器的结构和光调制原理，重点介绍了空间光调制器的相位调制特性，并且分析了实验所用的LCOS的结构及其参数。第三章，具体介绍了基于LCOS的三维光场合成与再现的理论模拟和实验研究，包括计算全息，GS算法，整个实验系统装置，及其怎样定标获得灰

3、度一位相曲线，消除中心亮斑，最后详细比较了不同的实验结果。第四章，总结了实验存在的问题，并提出了改进的想法及其展望。关键词：三维光场，立体光刻，Gs算法，数字再现，光学再现IVLCOS--basedthree--dimensionalfieldandopticalsynthesisofmicro--nanostructureofthree-??dimensionalpreparationlithographyName：WuQilanyOUFrotessorSupervisor：J"LyingJrosseforPuohZor：MajOp

4、ticsAbstractofthree-dimensionalofscience，medicine，imagesbiologicalSynthesisopticalmicrothree-dimensionalandmilitary,andopticalsensing，micro-machiningfieldofarealotofinthetechnologygreatsignificance．However,thereordertoachievethree．dimensionalisnottruethree??dimensionali

5、magingdisplay,inCallbemeansoftruethree―dimensionaldisplaybyholography．thesisfortheofaThree-dimensionalofthispurposebuildingimagingLCOS-basedhasachievedtheimagingsystem,andsuccessfullyholographicinthreelevels．BecauseLCOSthethree-dimensionalreconstructionphaseimagedistrib

6、utionofreal．timemethodinthree-dimensionalchange，thisachievingdisplayandoftothree-dimensionaltweezersthegenerateholographicopticalpreparationwithvalue．devicessuchasfieldshighphotonicopticaldescribedtheofresearch．Thesiswasdividedintofoursituationchaptersmyfirstintroducedt

7、hethree??dimensionalcasesintotheThechapterbrieflylightandthree-dimensionaltechnologydevelopment．meaningmethods，andlithographyTheseconddescribedthestructureofmodulatorandlightopticalchapterspatialthemodulatorformodulationmodulationonspatiallightphasetheory,focusingofused

8、inthestructureandofcharacteristics，andparametersanalysisedexperimentsLCOS．VThethirddescribedthechapterthree-di